研磨材

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：天野一規
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-043989
公開番号（公開出願番号）：特開2018-118377
出願日： 2018年03月12日
公開日（公表日）： 2018年08月02日
要約：

【課題】長期間に渡り研磨レートが低下し難い研磨材を提供することを目的とする。【解決手段】研磨材1は基材シート10と、この基材シートの表面側に積層され、砥粒及びそのバインダー22を含み、かつ複数の凸状部を有する研磨層20とを備える研磨材であって、研磨層が複数種の砥粒を有し、複数種の砥粒のうち、平均粒子径が最も大きい砥粒を第1砥粒21a、及び平均粒子径が2番目に大きい砥粒を第2砥粒21bとする場合、第1砥粒の平均粒子径に対する第2砥粒の平均粒子径の比が5%以上70%以下であり、上記凸状部の平均面積が1mm2以上150mm2以下であることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材シートと、この基材シートの表面側に積層され、砥粒及びそのバインダーを含み、かつ複数の凸状部を有する研磨層とを備える研磨材であって、上記研磨層が複数種の砥粒を有し、上記複数種の砥粒のうち、平均粒子径が最も大きい砥粒を第1砥粒、及び平均粒子径が2番目に大きい砥粒を第2砥粒とする場合、第1砥粒の平均粒子径に対する第2砥粒の平均粒子径の比が5%以上70%以下であり、上記凸状部の平均面積が1mm2以上150mm2以下であることを特徴とする研磨材。

IPC (2件)：

B24D 11/00 , B24D 3/00

FI (2件)：

B24D11/00 M , B24D3/00 330G

Fターム (10件)：

3C063AB07 , 3C063BA24 , 3C063BB02 , 3C063BB03 , 3C063BB04 , 3C063BB19 , 3C063BB20 , 3C063BB30 , 3C063BC03 , 3C063BG08

引用特許：

出願人引用 (5件)

多数の研磨粒子等級を含む研磨スラリー及び研磨物品
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-511612 出願人：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー
研磨パッド及びガラス、セラミックス、及び金属材料の研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-158007 出願人：スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー
特開平3-073275

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