特許
J-GLOBAL ID：201803012997718139

摩耗予測装置、摩耗予測方法、摩耗予測プログラム

発明者：
川嶋 邦裕

川嶋 邦裕 について

, 
前田 秀典

前田 秀典 について

, 
祝 堅一郎

祝 堅一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング

株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング について


代理人 (3件)： 白坂 一 ,  高梨 玲子 ,  播磨 里江子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-125750
公開番号（公開出願番号）：特開2017-226905
出願日： 2016年06月24日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：
【課題】マグネトロンスパッタリングを行った場合のターゲットの摩耗度合を、従来よりも少ない演算量で予測する摩耗予測装置の提供。【解決手段】平板状ターゲットと、ターゲットの裏面に配され、ターゲット側に正極を対向させた磁性体及び負極を対向させた磁性体を複数配したマグネットユニットとを備え、ターゲットに対向配置した基板と、ターゲットとの間に電圧を印加して、ターゲット成分を基板に成膜するマグネトロンスパッタ装置におけるターゲットの摩耗予測装置であって、少なくとも複数の磁性体各々の配置位置を示す配置情報と、各磁性体の磁力強度を示す磁力強度情報と、を受け付ける受付部と、受付部が受け付けた磁性体の配置情報と、各磁性体の磁力強度情報とに基づいて、マグネットユニットが発生する磁場の分布を特定する磁場特定部と、磁場特定部が特定した磁場の分布に基づいて、ターゲットの摩耗度合を予測する摩耗予測部とを備える。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
基板上に成膜する素材である平板状のターゲットと、 前記ターゲットの裏面に配され、前記ターゲット側に正極を対向させた磁性体及び負極を対向させた磁性体をそれぞれ複数配したマグネットユニットと、を備え、 前記ターゲットに対向させて配置する前記基板と、前記ターゲットとの間に電圧を印加して、前記ターゲットの成分を前記基板に成膜するマグネトロンスパッタ装置における前記ターゲットの摩耗予測装置であって、 少なくとも前記複数の磁性体各々の配置位置を示す配置情報と、各磁性体の磁力強度を示す磁力強度情報と、を受け付ける受付部と、 前記受付部が受け付けた磁性体の配置情報と、各磁性体の磁力強度情報とに基づいて、前記マグネットユニットが発生する磁場の分布を特定する磁場特定部と、 前記磁場特定部が特定した磁場の分布に基づいて、前記ターゲットの摩耗度合を予測する摩耗予測部とを備えることを特徴とする摩耗予測装置。
IPC (1件)：
C23C 14/35
FI (2件)：
C23C14/35 Z ,  C23C14/35 B
Fターム (10件)：
4K029BA02 ,  4K029CA05 ,  4K029DA10 ,  4K029DC03 ,  4K029DC34 ,  4K029DC40 ,  4K029DC43 ,  4K029DC45 ,  4K029EA01 ,  4K029EA06
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (14件)
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