特許
J-GLOBAL ID：201803013149109013
ガスセンサ及びその使用方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-124681
公開番号（公開出願番号）：特開2017-227561
出願日： 2016年06月23日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：
【課題】アンモニア等のガスを高感度で検出することができるガスセンサ及びその使用方法を提供する。【解決手段】ソース半導体領域102及びドレイン半導体領域103と、ソース半導体領域102とドレイン半導体領域103との間のチャネル半導体領域101と、チャネル半導体領域101上方に設けられ、少なくとも一部が気体に接するグラフェン膜105と、チャネル半導体領域101とグラフェン膜105との間の誘電体膜104と、が含まれる。ソース半導体領域102からチャネル半導体領域101へのキャリアの移動がバンド間トンネル効果により生じる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ソース半導体領域及びドレイン半導体領域と、
前記ソース半導体領域と前記ドレイン半導体領域との間のチャネル半導体領域と、
前記チャネル半導体領域上方に設けられ、少なくとも一部が気体に接するグラフェン膜と、
前記チャネル半導体領域と前記グラフェン膜との間の誘電体膜と、
を有し、
前記ソース半導体領域から前記チャネル半導体領域へのキャリアの移動がバンド間トンネル効果により生じることを有することを特徴とするガスセンサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
2G060AA02
, 2G060AB07
, 2G060AE19
, 2G060AG06
, 2G060AG08
, 2G060BA07
, 2G060DA15
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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引用文献：
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