ガス又はガス混合気を検出する装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須田正義
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-503226
公開番号（公開出願番号）：特表2007-529722
出願日： 2005年03月04日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：

ガス又はガス混合気を検出する装置は、SGFET(1)として形成された少なくとも1つの第1のガスセンサと、それに加えて、ルントシュトレーム-FET(2)として形成された、少なくとも1つの第2のガスセンサを有している。ガスセンサは、評価装置と接続されており、その評価装置は、ガス又はガス混合気を検出するために2つの種類のガスセンサの測定信号(22、23)を評価するように形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ルントシュトレーム-FET(2)として形成された少なくとも1つのガスセンサを有する、ガス又はガス混合気を検出する装置において、装置がルントシュトレーム-FET(2)に加えて、SGFET(1)として形成された少なくとも1つのガスセンサを有しており、少なくとも1つのルントシュトレーム-FET(2)と少なくとも1つのSGFET(1)が、評価装置と接続されており、前記評価装置が、ガス又はガス混合気を検出するために2つの種類のガスセンサの測定信号(23,24)を評価するように形成されていることを特徴とするガス又はガス混合気を検出する装置。

IPC (2件)：

G01N 27/00 , G01N 27/414

FI (2件)：

G01N27/00 J , G01N27/30 301Z

Fターム (18件)：

2G060AA01 , 2G060AB03 , 2G060AB07 , 2G060AB10 , 2G060AE19 , 2G060AF07 , 2G060AG10 , 2G060AG15 , 2G060BB02 , 2G060BB09 , 2G060DA14 , 2G060DA33 , 2G060HB06 , 2G060HC02 , 2G060HC11 , 2G060HC18 , 2G060HD03 , 2G060KA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

DE4333875C2

審査官引用 (10件)

特開昭54-080196
特開昭58-129239
マスクを通じてまた選択的にこのマスクを閉じて全面的な層を析出するための方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平6-523756 出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト

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