粒子配向セラミックス

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-048463
公開番号（公開出願番号）：特開2014-172800
特許番号：特許第6260982号
出願日： 2013年03月11日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】等方性の高い結晶構造を持った物質の板状形状を備える粒子が基板上に堆積した粒子配向膜であって、該板状粒子が、粒子の面垂直方向の結晶方位と基板の面垂直方位とが揃うように一軸配向して基板上に堆積するとともに、該等方性の高い結晶構造を持った物質は、基板上に堆積される以前と比べて該結晶方位に対応する格子定数が伸長した結晶構造を有することを特徴とする、粒子配向膜。

IPC (2件)：