特許
J-GLOBAL ID：201803013407217969

移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法

発明者：
青木 保夫

青木 保夫 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-100979
公開番号（公開出願番号）：特開2018-142022
出願日： 2018年05月25日
公開日（公表日）： 2018年09月13日
要約：
【課題】自重支持装置をガイドするためのガイド部材を薄型化、軽量化する。【解決手段】 基板ステージ装置20は、XY平面に沿って移動可能な微動ステージ60と、微動ステージをXY平面に平行な方向に誘導するXY2次元ステージ装置(Xビーム30、Xキャリッジ40)と、微動ステージと同期してXY平面に平行な方向に移動可能、且つ協働して微動ステージの自重を支持する複数の重量キャンセル装置70と、Y軸に平行な方向に関してXビームの+Y側に設けられ、X軸に平行な方向に移動する複数の重量キャンセル装置の一部をガイドする第1のYステップガイド50と、Y軸に平行な方向に関してXビームの他側に設けられ、X軸に平行な方向に移動する複数の重量キャンセル装置の他部をガイドする第2のYステップガイド50と、を備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
互いに交差する第1方向と第2方向とへ移動可能な移動体と、 前記移動体を前記第1方向と前記第2方向とへ移動させる駆動装置と、 前記駆動装置を支持する第1ベースと、 前記移動体の異なる部分をそれぞれ支持する第1支持部と第2支持部とを有する支持装置と、 前記第1支持部と前記第2支持部とを相対移動可能にそれぞれ非接触支持するガイド部材と、 前記第1方向に関して前記第1ベースとは離間して配置され、前記ガイド部材を支持する第2ベースと、を備え、 前記駆動装置は、前記移動体を支持した状態の前記支持装置を、前記ガイド部材上で移動させる移動体装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 ,  G02F 1/13 ,  H01L 21/68
FI (4件)：
G03F7/20 501 ,  G03F7/20 521 ,  G02F1/13 101 ,  H01L21/68 K
Fターム (63件)：
2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA28 ,  2H092MA14 ,  2H092MA16 ,  2H092MA20 ,  2H092MA35 ,  2H092PA01 ,  2H197AA06 ,  2H197AA07 ,  2H197AA08 ,  2H197AA09 ,  2H197CA03 ,  2H197CC11 ,  2H197CD12 ,  2H197CD13 ,  2H197CD15 ,  2H197CD17 ,  2H197CD18 ,  2H197CD41 ,  2H197CD45 ,  2H197CD48 ,  2H197CD50 ,  2H197DC06 ,  2H197FB02 ,  2H197HA03 ,  2H197HA04 ,  2H197HA05 ,  2H197HA10 ,  2H197JA09 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA10 ,  5F131AA12 ,  5F131AA32 ,  5F131AA33 ,  5F131BA13 ,  5F131CA22 ,  5F131EA02 ,  5F131EA12 ,  5F131EA14 ,  5F131EA15 ,  5F131EA16 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131EA25 ,  5F131EA27 ,  5F131EB89 ,  5F131FA17 ,  5F131FA23 ,  5F131FA32 ,  5F131FA33 ,  5F131FA37 ,  5F131FA39 ,  5F131KA03 ,  5F131KA16 ,  5F131KA35 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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