特許
J-GLOBAL ID：200903017271053792

ステージ装置及び露光装置

発明者：
青木 保夫

青木 保夫 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-271632
公開番号（公開出願番号）：特開2006-086442
出願日： 2004年09月17日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：
【課題】 基板が大型化しても制御性の劣化を防止し、基板を所望状態で移動することができるステージ装置を提供する。【解決手段】 ステージ装置PSTは、基板Pを保持する基板ホルダPHをXY方向に移動させる第1ステージ100と、第1ステージ100とは別に設けられ、第1ステージ100の移動に伴ってXY方向に移動するとともに、基板ホルダPHのZ方向に作用する力を支持する第2ステージ200と、第1ステージ100と基板ホルダPHとを、Z方向に関して相対的に移動可能に連結する連結部Cとを備えている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板を保持する基板ホルダを移動可能に支持するステージ装置において、 前記基板ホルダを水平面内の少なくとも一方向に移動させる第1ステージと、 前記第1ステージとは別に設けられ、前記第1ステージの移動に伴って前記水平面内の少なくとも一方向に移動するとともに、前記基板ホルダの前記水平面と交差する方向に作用する力を支持する第2ステージと、 前記第1ステージと前記基板ホルダ又は前記第2ステージとを、前記水平面と交差する方向に関して相対的に移動可能に連結する連結部とを備えたことを特徴とするステージ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/68
FI (4件)：
H01L21/30 503A ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/68 K ,  H01L21/30 503F
Fターム (17件)：
2H097DA07 ,  2H097GA45 ,  2H097GB02 ,  2H097LA12 ,  5F031CA05 ,  5F031HA57 ,  5F031LA01 ,  5F031LA02 ,  5F031LA06 ,  5F031PA18 ,  5F046AA23 ,  5F046BA02 ,  5F046BA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC13
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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