特許
J-GLOBAL ID：201803014207199989
偏光特性測定方法および偏光特性測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
福田 伸一
, 水崎 慎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-098856
公開番号（公開出願番号）：特開2018-194455
出願日： 2017年05月18日
公開日（公表日）： 2018年12月06日
要約：
【課題】サンプリング数を抑制して演算処理の負荷を軽減するとともに、偏光特性を精度良く測定することができる偏光特性測定方法を提供する。【解決手段】光源11から光入射する偏光変調部12と検出器15へ光出射する偏光解析部15との間に、試料13を設置していない第1の状態で検出器15へ光入射を行い、演算手段16が、このときの検出器15の出力信号を用いて第1の状態を示す第1ストークスベクトルを求める第1過程と、偏光変調部12と偏光解析部14との間に試料13を設置した第2の状態で検出器15へ光入射を行い、このときの検出器15の出力信号を用いて第2の状態を示す第2ストークスベクトルを求める第2過程と、第1ストークスベクトルを示す行列と第2ストークスベクトルを示す行列とを用いて試料13の偏光特性を示すミュラー行列を求める第3過程とを有することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光源が発光する光波長と異なる設計光波長の位相板を用いた偏光特性測定方法であって、
前記位相板を備えた偏光解析部を介して検出器が検出した光強度を用いて前記位相板の位相差を演算手段が算出する第1過程と、
前記第1過程で算出した位相差を用いて前記位相板を備えた偏光解析部のストークスベクトルを前記演算手段が算出する第2過程と、
を有し、
前記第1過程は、
前記光源と前記偏光解析部との間に設置される偏光変調部および前記偏光解析部の位相方位角度ならびに透過方位角度を任意の角度に設定する第3過程と、
前記第3過程で任意の角度に設定した状態において前記検出器が撮影した画像ファイルを記憶手段へ記憶させる第4過程と、
を有し、前記第3過程および第4過程を所定回数繰り返すことにより、前記位相方位角度ならびに透過方位角度の設定角度を変更して撮影させた画像ファイルを順次記憶させ、該記憶させた各画像ファイルの光強度を用いて前記位相板の位相差を算出し、
前記第2過程は、
前記第1過程で算出した位相差および前記位相方位角度ならびに透過方位角度の各設定角度を用いて、所定の演算により前記位相板のストークスベクトルの各係数を求める第5過程と、
前記各係数を要素とする伝達行列およびその逆行列を求め、前記各画像ファイルの光強度を要素とする光強度行列と前記逆行列とを用いた演算により、前記ストークスベクトルを求める第6過程と、
を有することを特徴とする偏光特性測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2G059AA02
, 2G059BB10
, 2G059EE01
, 2G059EE05
, 2G059FF03
, 2G059GG02
, 2G059HH02
, 2G059JJ11
, 2G059JJ17
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059NN01
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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