特許
J-GLOBAL ID:201803014248444378

機械加工装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人浅村特許事務所
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-527013
公開番号(公開出願番号):特表2018-530437
出願日: 2016年08月12日
公開日(公表日): 2018年10月18日
要約:
光源(33)と、集束手段(9)より上流側で所定の位置と平行なままの空間的にオフセットされた出射光ビームを得る光学システム(2)であって、その法線が3次元空間に軌道を描くことができるよう可動であるミラー(19)を備え、第1入射光ビーム(4)とこの可動ミラー(19)の法線とが、可動ミラー(19)のすべての可能な位置や方向について、0°から15°の角度(15)で離間するよう構成されている、光学システム(2)と、可動ミラー(19)を移動させる駆動手段(6)と、可動ミラー(19)に、第1反射光ビーム(23)と平行な第2入射光ビーム(8)を得ることができる再帰反射システム(21)と、出射光ビーム(7)を対象物(10)上に集束させる集束手段(9)とを備える機械加工装置(100)。
請求項(抜粋):
光源(33)と、 入射光ビーム(1)から、該入射光ビーム(1)に対して空間的にオフセットされた出射光ビーム(7)を得る光学システム(2)であって、 法線(16)によって定められたほぼ平らな反射面を有し、前記入射光ビーム(1)から生じる第1入射光ビーム(4)から第1反射光ビーム(23)を得るよう構成され、 その法線(16)が3次元空間に軌道を描くことができるよう可動式のミラー(19)を備え、 前記第1入射光ビーム(4)と前記可動ミラー(19)の法線(16)とが、可動ミラー(19)のすべての可能な位置や方向について、0°から15°の角度(15)で離間するよう構成されている、光学システム(2)と、 前記可動ミラー(19)を移動させる駆動手段(6)と、 前記第1反射光ビーム(23)から、前記可動ミラー(19)のすべての可能な位置や方向について、前記ミラー(19)に第2入射光ビーム(8)を得るよう、かつ、前記第2入射光ビーム(8)から上記ミラー(19)に出射光ビーム(7)を得るように前記可動ミラー(19)に対して位置決めされ、 前記可動ミラー(19)のすべての可能な位置や方向について、前記可動ミラー(19)に、前記第1反射光ビーム(23)と平行な前記第2入射光ビーム(8)を得ることができる、再帰反射システム(21)と、 前記出射光ビーム(7)を対象物(10)上に集束させる集束手段(9)と、 を具備することを特徴とする機械加工装置(100)。
IPC (3件):
B23K 26/082 ,  G02B 5/04 ,  G02B 26/10
FI (4件):
B23K26/082 ,  G02B5/04 F ,  G02B26/10 101 ,  G02B26/10 C
Fターム (16件):
2H042CA04 ,  2H042CA12 ,  2H042CA17 ,  2H045AA00 ,  2H045AB13 ,  2H045BA14 ,  4E168AD11 ,  4E168DA23 ,  4E168DA26 ,  4E168DA28 ,  4E168DA45 ,  4E168DA46 ,  4E168DA47 ,  4E168EA11 ,  4E168EA14 ,  4E168EA15
引用特許:
審査官引用 (2件)

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