特許
J-GLOBAL ID:201803014259219708
画像検査装置、及び、プログラム
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
木村 満
, 杉本 和之
, 榊原 靖
, 毛受 隆典
, 森川 泰司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-122153
公開番号(公開出願番号):特開2017-227473
出願日: 2016年06月20日
公開日(公表日): 2017年12月28日
要約:
【課題】欠陥を精度良く検出できる画像検査装置などを提供する。【解決手段】画像検査装置は、差分画像を構成する複数の画素の輝度を16×16の画素群毎に平均化した第2基準画像を生成する。また、画像検査装置は、差分画像を構成する複数の画素の輝度を4×4の画素群毎に平均化した第2検査画像を生成する。画像検査装置は、第2基準画像の各画素の輝度値と、第2検査画像の各画素の輝度値と、を同じ位置の画素同士で比較し、両輝度の関係が所定基準を満たしている画素の有無に基づいて欠陥を検出する。【選択図】図5
請求項(抜粋):
検査対象の欠陥の有無を、当該検査対象を画像化した検査対象画像を用いて検査する画像検査装置であって、
前記検査対象画像を構成する複数の画素の輝度を第1画素群毎にその第1画素群に含まれる各画素の輝度に基づいて均一化した第1比較画像を生成する第1生成手段と、
前記検査対象画像を構成する前記複数の画素の輝度を前記第1画素群よりも画素数の小さい第2画素群毎にその第2画素群に含まれる各画素の輝度に基づいて均一化した第2比較画像を生成する第2生成手段と、
前記第1比較画像を構成する複数の画素それぞれの輝度と、前記第2比較画像を構成する複数の画素それぞれの輝度と、を同じ位置の画素同士で比較し、両輝度の関係が所定基準を満たしている画素の有無に基づいて欠陥を検出する欠陥検出手段と、
を備える画像検査装置。
IPC (3件):
G01N 21/88
, G01N 21/84
, G06T 1/00
FI (3件):
G01N21/88 J
, G01N21/84 E
, G06T1/00 300
Fターム (45件):
2G051AA41
, 2G051AA89
, 2G051AB01
, 2G051AB07
, 2G051AB12
, 2G051AC02
, 2G051BA20
, 2G051BC01
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CD01
, 2G051EA03
, 2G051EA05
, 2G051EA08
, 2G051EA11
, 2G051EA16
, 2G051EC01
, 2G051EC03
, 2G051ED01
, 2G051ED05
, 5B057AA01
, 5B057BA02
, 5B057CA02
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB02
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CC02
, 5B057CE03
, 5B057CE05
, 5B057CE12
, 5B057CE18
, 5B057DA03
, 5B057DA07
, 5B057DA08
, 5B057DA15
, 5B057DA16
, 5B057DB02
, 5B057DB05
, 5B057DB09
, 5B057DC14
, 5B057DC32
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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