特許
J-GLOBAL ID：201803014418190295

比例流量弁を使用して気体流を制御するための方法及びシステム

発明者：
ボレロ,マイケル アンソニー

ボレロ,マイケル アンソニー について


出願人/特許権者：
コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ

コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ について


代理人 (3件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦 ,  大貫 進介
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-515958
公開番号（公開出願番号）：特表2018-528550
出願日： 2016年09月07日
公開日（公表日）： 2018年09月27日
要約：
比例弁を制御するための方法(400)。方法は:(i)比例流量制御弁(140)、流量センサ(150)及び調整可能なゲイン(180)を有する閉ループ流量コントローラ(110)と、閉ループ流量コントローラのモデル(160)及びゲイン制御(170)を備える適応コントローラ(120)とを含む、比例流量弁機構を提供するステップ(410)と;(ii)比例流量制御弁を作動させるステップ(420)と;(iii)実際のガス流量を測定するステップ(430)と;(iv)測定されたガス流量と所望のガス流量との間の差を決定するステップ(440)と;(v)決定された差を使用して比例流量制御弁を調整するステップ(450)と;(vi)閉ループ流量コントローラのモデルからの応答を開始するステップ(460)と;(vii)閉ループ流量コントローラのゲインを決定するステップ(470)と;(viii)閉ループ流量コントローラの調整可能なゲインを調整するステップ(480)とを備える。
請求項（抜粋）：
比例弁を制御するための方法であって、当該方法は: 比例流量弁機構を提供するステップであって、該機構は:(i)比例流量制御弁、流量センサ及び調整可能なゲインを有する閉ループ流量コントローラと;(ii)前記閉ループ流量コントローラのモデル及びゲイン制御とを備える適応コントローラとを備える、ステップと、 前記閉ループ流量コントローラによって、前記比例流量制御弁を作動させるステップと、 前記流量センサによって、実際のガス流量を測定するステップと、 前記閉ループ流量コントローラによって、前記測定されたガス流量と所望のガス流量との間の差を決定するステップと、 前記決定された差を使用して前記比例流量弁を調整するステップと、 前記所望のガス流量を使用して、前記閉ループ流量コントローラの前記モデルからの応答を開始するステップと、 前記ゲイン制御、前記所望のガス流量及び前記閉ループ流量コントローラの前記モデルからの応答を使用して、前記閉ループ流量コントローラのゲインを決定するステップと、 前記決定されたゲインを使用して、前記閉ループ流量コントローラの前記調整可能なゲインを調整するステップと、 を備える、方法。
IPC (1件)：
G05D 7/06
FI (1件)：
G05D7/06 Z
Fターム (7件)：
5H307BB01 ,  5H307DD01 ,  5H307DD17 ,  5H307EE02 ,  5H307GG03 ,  5H307HH12 ,  5H307KK08
引用特許：
出願人引用 (6件)
  • 特開昭61-067103
  • 質量流量コントローラのシステムおよび方法
    公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-584094   出願人：ユニット・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド
  • 電流制御方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-304162   出願人：株式会社安川電機
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審査官引用 (6件)
  • 特開昭61-067103
  • 質量流量コントローラのシステムおよび方法
    公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-584094   出願人：ユニット・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド
  • 電流制御方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-304162   出願人：株式会社安川電機
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