特許
J-GLOBAL ID：201803014737436299

走査露光装置、及びデバイス製造方法

発明者：
小松 宏一郎

小松 宏一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (3件)： 西澤 和純 ,  大浪 一徳 ,  小林 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-078902
公開番号（公開出願番号）：特開2018-124574
出願日： 2018年04月17日
公開日（公表日）： 2018年08月09日
要約：
【課題】投影領域と照明領域とが互いに非平行な関係であっても精度よく露光できる走査露光装置、及びデバイス製造方法を提供する。【解決手段】第1中心軸と第2中心軸とを含む中心面に対して第1回転ドラムの周方向に傾いた第1の光軸を有し、第1回転ドラムの外周面上の中心面との交差位置から周方向にずれた位置に設定される照明領域内のマスクパターンに対応した中間像を、照明領域の接平面と中間像の接平面とが非平行な配置の状態で形成する第1投影光学系と、中心面に対して第2回転ドラムの周方向に傾いた第2の光軸を有し、中間像を、基板上に設定される投影領域の接平面と中間像の接平面とが非平行な配置の状態で投影領域に投影する第2投影光学系と、第1の光軸に沿って進んだ光を前記第2の光軸に沿って偏向させるように、第1回転ドラムの前記一定半径に応じて設定される焦点距離を有するレンズ部材と、を備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第1中心軸から一定半径の外周面に沿ってマスクパターンが形成された第1回転ドラムを前記第1中心軸の回りに回転させると共に、可撓性を有する長尺のシート状の基板の一部を、前記第1中心軸と平行な第2中心軸の回りに回転可能な第2回転ドラムの円筒面状の外周面で支持して長尺方向に搬送して、前記マスクパターンの投影像を前記基板上に走査露光する走査露光装置であって、 前記第1中心軸と前記第2中心軸とを含む中心面に対して前記第1回転ドラムの周方向に傾いた第1の光軸を有し、前記第1回転ドラムの外周面上の前記中心面との交差位置から周方向にずれた位置に設定される照明領域内のマスクパターンに対応した中間像を、前記照明領域の接平面と前記中間像の接平面とが非平行な配置の状態で形成する第1投影光学系と、 前記中心面に対して前記第2回転ドラムの周方向に傾いた第2の光軸を有し、前記中間像を、前記基板上に設定される投影領域の接平面と前記中間像の接平面とが非平行な配置の状態で前記投影領域に投影する第2投影光学系と、 前記第1投影光学系と前記第2投影光学系との間に配置され、前記第1の光軸に沿って進んだ光を前記第2の光軸に沿って偏向させるように、前記第1回転ドラムの前記一定半径に応じて設定される焦点距離を有するレンズ部材と、 を備える走査露光装置。
IPC (4件)：
G03F 7/20 ,  G02B 13/26 ,  G02B 13/00 ,  G02B 13/18
FI (4件)：
G03F7/20 501 ,  G02B13/26 ,  G02B13/00 ,  G02B13/18
Fターム (37件)：
2H087KA21 ,  2H087KA29 ,  2H087LA01 ,  2H087LA24 ,  2H087PA04 ,  2H087PA10 ,  2H087PA17 ,  2H087PB04 ,  2H087PB10 ,  2H087QA02 ,  2H087QA07 ,  2H087QA14 ,  2H087QA21 ,  2H087QA25 ,  2H087QA26 ,  2H087QA34 ,  2H087QA37 ,  2H087QA41 ,  2H087QA45 ,  2H087QA46 ,  2H087RA07 ,  2H087RA08 ,  2H087RA26 ,  2H087RA31 ,  2H087UA03 ,  2H197AA09 ,  2H197AA33 ,  2H197AA40 ,  2H197AA41 ,  2H197BA04 ,  2H197BA09 ,  2H197CA01 ,  2H197CA05 ,  2H197CC16 ,  2H197HA04 ,  2H197HA05 ,  2H197JA17
引用特許：
出願人引用 (5件)
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