特許
J-GLOBAL ID：201803014765619269
モノリシック3軸磁場センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-536883
特許番号：特許第6312686号
出願日： 2013年10月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1面を有する基板と、
上記基板の上記第1面上に配置され、上記基板の上記第1面に対する第1傾斜面および第2傾斜面をそれぞれが備えている複数の第1バンプと、
上記複数の第1バンプの上記第1傾斜面にわたって配置された第1ホイートストンブリッジ回路と、
上記複数の第1バンプの上記第2傾斜面にわたって配置された第2ホイートストンブリッジ回路とを備え、
上記複数の第1バンプにおけるバンプは、同じ第1軸と位置合わせされており、
上記複数の第1バンプにおける各バンプは、対応する上記第1傾斜面上の上記第1ホイートストンブリッジ回路からの第1素子と、対応する上記第2傾斜面上の上記第2ホイートストンブリッジ回路からの第1素子とを備え、上記第1ホイートストンブリッジ回路における上記第1素子の電気的位置が、上記第2ホイートストンブリッジ回路における上記第1素子の電気的位置に対応することを特徴とする磁力計。
IPC (3件)：
G01R 33/02 ( 200 6.01)
, G01R 33/09 ( 200 6.01)
, H01L 43/08 ( 200 6.01)
G01R 33/02 L
, G01R 33/09
, H01L 43/08 Z
