特許

J-GLOBAL ID：200903036673213359

磁気センサ及びその製造方法

発明者： 安住 純一 ,  ▲高▼ 太好 ,  布施 晃広
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 丸山 隆夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-108061
公開番号（公開出願番号）：特開2009-020092
出願日： 2008年04月17日
公開日（公表日）： 2009年01月29日
要約：

【課題】製造工数が少なく、同時に複数の軸を有する磁気センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】複数のセンサブリッジ回路における一対の検知部を傾斜の法線方向が三次元的に交差する傾斜斜面上にそれぞれ配し、同一センサブリッジ回路内の一対の検知部は傾斜斜面の法線方向が同一である斜面上に配しているので、一方向の磁界を付与しながらの磁場中熱処理を1回行うだけで、同一ブリッジ内検知部のピンド層は同一方向に着磁でき、かつ各座標系のピンド層の磁化方向を三次元的に交差する三つの磁化方向に着磁できるため、製造工程の低減ができ、製造歩留まりの向上に繋がる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に磁気抵抗効果素子からなる一対の検知部と、一対の固定抵抗とがブリッジ接続された複数のセンサブリッジ回路が形成され、前記検知部の磁化の向きが互いに三次元方向に交差するように形成されている磁気センサにおいて、 前記基板は、傾斜の法線方向が三次元的に交差する複数の傾斜面を有し、各センサブリッジ回路内の一対の検知部は、同一の傾斜面上にそれぞれ配されていることを特徴とする磁気センサ。

IPC (4件)：

G01R 33/09 ,  G01R 33/02 ,  H01L 43/08 ,  H01L 43/12

FI (4件)：

G01R33/06 R ,  G01R33/02 L ,  H01L43/08 Z ,  H01L43/12

Fターム (23件)：

2G017AA10 ,  2G017AD55 ,  2G017AD61 ,  2G017AD62 ,  2G017AD63 ,  2G017AD65 ,  2G017BA05 ,  2G017BA09 ,  5F092AA11 ,  5F092AB01 ,  5F092AC08 ,  5F092AC12 ,  5F092AD03 ,  5F092BB04 ,  5F092BB22 ,  5F092BB35 ,  5F092BB36 ,  5F092BB37 ,  5F092BB42 ,  5F092BE21 ,  5F092EA01 ,  5F092EA07 ,  5F092FA09

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特許第3498737号公報
  
• トンネル磁気抵抗効果素子及びこの素子を用いた方位検知システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-185843   出願人：株式会社リコー, 東北リコー株式会社
• 3軸方位センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-190591   出願人：日立金属株式会社
• 三軸磁気センサおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-089308   出願人：ヤマハ株式会社