特許
J-GLOBAL ID：201803014971704329

金属膜の積層構造

発明者：
伊東 正浩

伊東 正浩 について


出願人/特許権者：
日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社

日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社 について


代理人 (3件)： 宮崎 悟 ,  後藤 圭次 ,  船越 巧子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-185414
公開番号（公開出願番号）：特開2018-048382
出願日： 2016年09月23日
公開日（公表日）： 2018年03月29日
要約：
【課題】本発明は、析出金属膜の密着性が弱く、均一な密着力が得られない、あるいは、部分的に金属ナノ粒子が凝集して一部の金属ナノ粒子の吸着力がプライマー層に対して弱くなるため均一な金属膜を形成することができないという課題を解決するためになされたものであり、触媒層の金属ナノ粒子がプライマー層に取り囲まれ、その一端がめっき析出層と連結している金属膜の積層構造を提供することにある。【解決手段】本発明の金属膜の積層構造は、基材上に、プライマー層、触媒層およびめっき析出層の3層が積層された断面構造において、当該プライマー層は、ガラス転移温度(Tg)が40〜430°Cの樹脂層であり、当該触媒層はプライマー層上に平面に整列された金属ナノ粒子群であり、その金属ナノ粒子群は周期律表の第11族または第8、9、10族の金属であり、かつ、その金属ナノ粒子はプライマー層に取り囲まれ、その一端がめっき析出層と連結していることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材上にプライマー層、触媒層およびめっき析出層の3層が積層された断面構造において、当該プライマー層はガラス転移温度(Tg)が40〜430°Cの樹脂層であり、当該触媒層はプライマー層上に平面に整列された金属ナノ粒子群であり、その金属ナノ粒子群は周期律表のIB族またはVIIIB族の金属であり、かつ、その金属ナノ粒子がプライマー層に取り囲まれた状態にあり、その一端がめっき析出層と連結していることを特徴とする金属膜の積層構造。
IPC (7件)：
C23C 28/00 ,  B32B 15/08 ,  B32B 15/01 ,  C23C 18/42 ,  C25D 7/00 ,  C25D 5/54 ,  H05K 3/18
FI (8件)：
C23C28/00 A ,  B32B15/08 A ,  B32B15/01 E ,  C23C18/42 ,  C25D7/00 G ,  C25D5/54 ,  H05K3/18 B ,  H05K3/18 E
Fターム (98件)：
4F100AB01C ,  4F100AB24C ,  4F100AB25 ,  4F100AB25C ,  4F100AG00 ,  4F100AK01B ,  4F100AK41 ,  4F100AR00C ,  4F100AR00D ,  4F100AT00A ,  4F100BA04 ,  4F100BA07 ,  4F100BA31B ,  4F100BA31C ,  4F100BA31D ,  4F100DE01 ,  4F100DE01C ,  4F100EH46 ,  4F100EH71 ,  4F100EH71D ,  4F100EJ65 ,  4F100EJ65B ,  4F100GB41 ,  4F100JA05 ,  4F100JA05B ,  4F100JB20C ,  4F100JG04 ,  4F100JL11 ,  4F100JM01 ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4K022AA02 ,  4K022AA03 ,  4K022AA04 ,  4K022AA05 ,  4K022AA13 ,  4K022AA42 ,  4K022BA03 ,  4K022BA18 ,  4K022CA06 ,  4K022CA09 ,  4K022CA25 ,  4K022DA01 ,  4K024AA10 ,  4K024AB02 ,  4K024AB17 ,  4K024BA11 ,  4K024BA12 ,  4K024BA15 ,  4K024BB11 ,  4K024DA10 ,  4K024GA01 ,  4K044AA11 ,  4K044AA12 ,  4K044AA13 ,  4K044AA16 ,  4K044BA06 ,  4K044BA08 ,  4K044BA21 ,  4K044BB04 ,  4K044BC05 ,  4K044CA15 ,  4K044CA18 ,  4K044CA53 ,  5E343AA02 ,  5E343AA12 ,  5E343AA15 ,  5E343AA16 ,  5E343AA17 ,  5E343AA18 ,  5E343AA22 ,  5E343AA23 ,  5E343AA24 ,  5E343AA26 ,  5E343AA38 ,  5E343BB05 ,  5E343BB16 ,  5E343BB17 ,  5E343BB23 ,  5E343BB24 ,  5E343BB25 ,  5E343BB47 ,  5E343BB48 ,  5E343BB49 ,  5E343BB71 ,  5E343CC71 ,  5E343CC72 ,  5E343CC73 ,  5E343CC76 ,  5E343DD33 ,  5E343DD43 ,  5E343ER02 ,  5E343ER04 ,  5E343ER32 ,  5E343FF16 ,  5E343GG02 ,  5E343GG06 ,  5E343GG08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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