特許
J-GLOBAL ID：201803015251230229
インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-009958
公開番号（公開出願番号）：特開2018-110239
出願日： 2018年01月24日
公開日（公表日）： 2018年07月12日
要約：
【課題】 重ね合わせ精度を向上することができるインプリント装置及びインプリント方法を提供すること。【解決手段】 基板を吸着して保持する基板保持部と、ショット領域に熱を与えることによりショット領域を変形させる変形部を有するインプリント装置において、パターンの形成に伴い、ショット領域の形状と型のパターン部の形状との差に関する情報と、基板を複数の領域に分けたときにショット領域が位置する基板上の領域に関する情報に基づいてショット領域に熱を与える。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
型とインプリント材を用いて基板上のショット領域にパターンを形成するインプリント装置であって、
前記基板を吸着して保持する基板保持部と、
前記ショット領域に熱を与えることにより前記ショット領域を変形させる変形部を有し、
前記パターンの形成に伴い、前記変形部は、前記ショット領域の形状と前記型のパターン部の形状との差に関する情報と、前記基板を複数の領域に分けたときに前記ショット領域が位置する前記基板上の領域に関する情報に基づいて前記ショット領域に熱を与えることを特徴とするインプリント装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B29C59/02 Z
4F209AA44
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209AJ03
, 4F209AJ06
, 4F209AP06
, 4F209AR06
, 4F209AR20
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PN09
, 4F209PQ11
, 5F146AA18
, 5F146AA32
, 5F146CC01
, 5F146CC02
, 5F146CC04
, 5F146CC05
, 5F146CC08
, 5F146CC09
, 5F146CC10
, 5F146CC11
, 5F146DA05
, 5F146DA26
, 5F146DB02
, 5F146DB14
, 5F146EB07
, 5F146ED01
, 5F146FC04
, 5F146FC06
