特許
J-GLOBAL ID：201803015392163207
露光装置および照明ユニット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山田 正紀
, 三上 結
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-138100
公開番号（公開出願番号）：特開2015-011270
特許番号：特許第6283798号
出願日： 2013年07月01日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 露光光を出射する照明ユニットと、
露光パターンが形成され前記照明ユニットからの露光光の照射を受けるマスクと、
前記マスクを被写体とするマイクロレンズアレイと、
前記照明ユニットおよび前記マイクロレンズアレイを、前記マスクと、該マイクロレンズアレイにより該マスク上の露光パターンが結像される基板との双方に対し、所定の移動方向に相対移動させる移動機構とを備え、
前記移動機構による前記移動方向への相対移動により、前記基板上の、前記マイクロレンズアレイの静止時の露光領域を越えた広がりを持つ領域に渡って、該基板を、前記マスク上の露光パターンに応じたパターンに露光する露光装置において、
前記マイクロレンズアレイが、前記移動方向に交差する交差方向への配列を含んで2次元的に配置された複数のマイクロレンズを有し、
前記照明ユニットが、
複数の発光素子が配列された発光素子アレイと、
前記発光素子アレイを構成する複数の発光素子から出射した複数の発光光を、前記交差方向については該交差方向に並ぶマイクロレンズ複数個に跨って広がるとともに、前記移動方向については該移動方向に隣接する列に並ぶマイクロレンズに及ばない広さに制限された露光光束に変換して、該露光光束を該交差方向に並ぶ複数のマイクロレンズ上に導く照明光学系とを有することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G03F 7/20 501
, H01L 21/30 515 A
, H01L 21/30 515 D
