特許
J-GLOBAL ID:201803015436490804
架橋ポリマー構造体及びその使用
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
西澤 和純
, 大槻 真紀子
, 大浪 一徳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-104099
公開番号(公開出願番号):特開2018-148918
出願日: 2018年05月30日
公開日(公表日): 2018年09月27日
要約:
【課題】新たな微細構造の形成技術を提供する。【解決手段】基板と、前記基板上に設けられた架橋ポリマーシートとを備え、前記基板は、前記架橋ポリマーシートが接着された接着領域と、前記架橋ポリマーシートが接着されていない非接着領域とを有し、前記架橋ポリマーシートは、前記基板が接着された接着領域と、前記基板が接着されていない非接着領域を有し、平面視において、前記基板の前記接着領域は、前記基板の前記非接着領域の周囲を囲んで閉じており、前記架橋ポリマーシートの前記非接着領域には少なくとも1つの貫通孔が存在する、架橋ポリマー構造体。【選択図】図1A
請求項(抜粋):
基板と、前記基板上に設けられた架橋ポリマーシートとを備え、
前記基板は、前記架橋ポリマーシートが接着された接着領域と、前記架橋ポリマーシートが接着されていない非接着領域とを有し、
前記架橋ポリマーシートは、前記基板が接着された接着領域と、前記基板が接着されていない非接着領域を有し、
平面視において、前記基板の前記接着領域は、前記基板の前記非接着領域の周囲を囲んで閉じており、
前記架橋ポリマーシートの前記非接着領域には少なくとも1つの貫通孔が存在する、架橋ポリマー構造体。
IPC (7件):
C12M 1/00
, C12N 5/00
, G03F 7/11
, G03F 7/039
, B32B 7/04
, B32B 27/00
, B32B 3/10
FI (7件):
C12M1/00 C
, C12N5/00
, G03F7/11 501
, G03F7/039 601
, B32B7/04
, B32B27/00 Z
, B32B3/10
Fターム (35件):
2H225AE04N
, 2H225AF00P
, 2H225AF96P
, 2H225AM52N
, 2H225AN12N
, 2H225AN50P
, 2H225AP17N
, 2H225CA30
, 2H225CB02
, 2H225CC03
, 2H225CC15
, 2H225CD06
, 4B029AA08
, 4B029BB11
, 4B029CC02
, 4B029GB05
, 4B029GB09
, 4B065AA90
, 4B065BC41
, 4B065BD14
, 4B065CA44
, 4F100AJ06B
, 4F100AK01
, 4F100AK12A
, 4F100AK21B
, 4F100AK22B
, 4F100AT00A
, 4F100BA02
, 4F100BA32
, 4F100CA02B
, 4F100DC11B
, 4F100DC21B
, 4F100EJ05B
, 4F100EJ52
, 4F100JC00
引用特許: