特許
J-GLOBAL ID:201803015436490804

架橋ポリマー構造体及びその使用

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 西澤 和純 ,  大槻 真紀子 ,  大浪 一徳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-104099
公開番号(公開出願番号):特開2018-148918
出願日: 2018年05月30日
公開日(公表日): 2018年09月27日
要約:
【課題】新たな微細構造の形成技術を提供する。【解決手段】基板と、前記基板上に設けられた架橋ポリマーシートとを備え、前記基板は、前記架橋ポリマーシートが接着された接着領域と、前記架橋ポリマーシートが接着されていない非接着領域とを有し、前記架橋ポリマーシートは、前記基板が接着された接着領域と、前記基板が接着されていない非接着領域を有し、平面視において、前記基板の前記接着領域は、前記基板の前記非接着領域の周囲を囲んで閉じており、前記架橋ポリマーシートの前記非接着領域には少なくとも1つの貫通孔が存在する、架橋ポリマー構造体。【選択図】図1A
請求項(抜粋):
基板と、前記基板上に設けられた架橋ポリマーシートとを備え、 前記基板は、前記架橋ポリマーシートが接着された接着領域と、前記架橋ポリマーシートが接着されていない非接着領域とを有し、 前記架橋ポリマーシートは、前記基板が接着された接着領域と、前記基板が接着されていない非接着領域を有し、 平面視において、前記基板の前記接着領域は、前記基板の前記非接着領域の周囲を囲んで閉じており、 前記架橋ポリマーシートの前記非接着領域には少なくとも1つの貫通孔が存在する、架橋ポリマー構造体。
IPC (7件):
C12M 1/00 ,  C12N 5/00 ,  G03F 7/11 ,  G03F 7/039 ,  B32B 7/04 ,  B32B 27/00 ,  B32B 3/10
FI (7件):
C12M1/00 C ,  C12N5/00 ,  G03F7/11 501 ,  G03F7/039 601 ,  B32B7/04 ,  B32B27/00 Z ,  B32B3/10
Fターム (35件):
2H225AE04N ,  2H225AF00P ,  2H225AF96P ,  2H225AM52N ,  2H225AN12N ,  2H225AN50P ,  2H225AP17N ,  2H225CA30 ,  2H225CB02 ,  2H225CC03 ,  2H225CC15 ,  2H225CD06 ,  4B029AA08 ,  4B029BB11 ,  4B029CC02 ,  4B029GB05 ,  4B029GB09 ,  4B065AA90 ,  4B065BC41 ,  4B065BD14 ,  4B065CA44 ,  4F100AJ06B ,  4F100AK01 ,  4F100AK12A ,  4F100AK21B ,  4F100AK22B ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100BA32 ,  4F100CA02B ,  4F100DC11B ,  4F100DC21B ,  4F100EJ05B ,  4F100EJ52 ,  4F100JC00
引用特許:
審査官引用 (4件)
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