ステージ、ステージの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 柏岡潤二 , 奥村大輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-128280
公開番号（公開出願番号）：特開2018-157234
出願日： 2018年07月05日
公開日（公表日）： 2018年10月04日
要約：

【課題】温度制御の精度を向上することが可能なステージを提供する。【解決手段】一実施形態に係るステージは、プレートと熱交換器とを備える。プレートは、その上に基板が載置される表面側と裏面側とを有する。熱交換器は、プレートの裏面側の複数の領域であり、2次元的に分布し、且つ互いに内包しない該複数の領域に対して個別に熱交換媒体を供給して、供給した熱交換媒体を回収するように構成されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

その上に基板が載置される表面側と裏面側とを有するプレートと、前記プレートの前記裏面側の複数の領域であり、2次元的に分布し、且つ互いに内包しない該複数の領域に対して個別に熱交換媒体を供給して、供給した熱交換媒体を回収するように構成された熱交換器であり、前記プレートの前記裏面側に向けて上方に延び、前記裏面側に対面する第1の開口端と該第1の開口端の反対側に設けられた第2の開口端を提供する複数の第1の管であり、前記プレートの下方において分布された、該複数の第1の管と、前記複数の第1の管をそれぞれ囲む複数の空間を画成する隔壁と、前記複数の空間にそれぞれ連通するよう前記隔壁に接続する複数の第2の管であり、各々が熱交換媒体を排出するための第3の開口端を提供する、該複数の第2の管と、を有する、該熱交換器と、前記複数の第1の管にそれぞれ接続する一端部と他端部とを有する複数の第1の流路、及び、前記複数の第2の管にそれぞれ接続する一端部と他端部とを有する複数の第2の流路が形成された流路部と、を備え、前記流路部は、上面を有するブロック体であり、前記複数の第1の流路の前記一端部の各々は、上下方向から見て、前記複数の第1の管のうち対応する第1の管の前記第1の開口端に対して重なる位置において、前記上面に開口し、前記複数の第2の流路の前記一端部の各々は、上下方向から見て、前記複数の第2の管のうち対応する第2の管の前記第3の開口端に対して重なる位置において、前記上面に開口している、ステージ。

IPC (4件)：

H01L 21/306 , H01L 21/31 , H01L 21/205 , H01L 21/683

FI (4件)：

H01L21/302 101G , H01L21/31 C , H01L21/205 , H01L21/68 N

Fターム (37件)：

5F004AA01 , 5F004BA09 , 5F004BB13 , 5F004BB22 , 5F004BB25 , 5F004BB28 , 5F004BD01 , 5F004BD04 , 5F004CA06 , 5F045AA08 , 5F045DP03 , 5F045EF05 , 5F045EJ03 , 5F045EJ09 , 5F045EJ10 , 5F045EM05 , 5F131AA02 , 5F131AA03 , 5F131AA32 , 5F131AA33 , 5F131AA34 , 5F131BA04 , 5F131BA12 , 5F131BA14 , 5F131BA15 , 5F131BA19 , 5F131BA37 , 5F131CA03 , 5F131CA17 , 5F131CA32 , 5F131EA03 , 5F131EB11 , 5F131EB14 , 5F131EB16 , 5F131EB17 , 5F131EB78 , 5F131EB82

引用特許：

出願人引用 (3件)

温度制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-088236 出願人：株式会社小松製作所
半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-367275 出願人：株式会社日立国際電気
一酸化炭素発生炉の冷却構造
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-246648 出願人：日本曹達株式会社

審査官引用 (3件)

温度制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-088236 出願人：株式会社小松製作所
半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-367275 出願人：株式会社日立国際電気
一酸化炭素発生炉の冷却構造
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-246648 出願人：日本曹達株式会社

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