特許
J-GLOBAL ID:201803015912119982
フィルタリング特性を強化した、電子機器の試験装置のプローブカード
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
中島 淳
, 加藤 和詳
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-551606
公開番号(公開出願番号):特表2018-510355
出願日: 2016年03月24日
公開日(公表日): 2018年04月12日
要約:
電子機器の試験装置のプローブカードであって、前記プローブカードは、複数の接触プローブを収納する少なくとも1つの試験ヘッド、を含み、接触プローブの各々は、テスト中のデバイスの接触パッドに当接するように適応している少なくとも1つの接触チップ、反対側の接触パッドの間の距離の空間変換を提供するように適応され、適切な導電トラック、即ち、プレーンにより接続された少なくとも1つのスペーストランスフォーマ、及び、前記スペーストランスフォーマ及びPCBの間に提供される複数のフィルタリングキャパシタ、をもち、前記フィルタリングキャパシタは、本体及び、前記本体の側面に配置されている導電部を含み、前記導電部は、前記導電トラック、即ち、プレーンに接触し、前記プローブカードは、前記PCBが、前記フィルタリングキャパシタの前記導電部に電気的に接触する、導電トラック、即ち、プレーンを含む、プローブカード。
請求項(抜粋):
電子機器の試験装置のプローブカード(20)であって、
前記プローブカード(20)は、
複数の接触プローブ(22)を収納する少なくとも1つの試験ヘッド(21)、
を含み、
接触プローブ(22)の各々は、
テスト中のデバイスの接触パッドに当接するように適応している少なくとも1つの接触チップ(22A)、
反対側の接触パッド(24A、24B)の間の距離の空間変換を提供するように適応され、適切な導電トラック、即ち、プレーン(26)により接続された少なくとも1つのスペーストランスフォーマ(24)、及び、
前記スペーストランスフォーマ(24)及びPCB(25)の間に提供される複数のフィルタリングキャパシタ(29)、
をもち、
前記フィルタリングキャパシタ(29)は、本体(29c)及び、前記本体(29c)の側面に配置されている導電部(29r)を含み、
前記導電部(29r)は、前記導電トラック、即ち、プレーン(26)に接触し、
前記プローブカード(20)は、
前記PCB(25)が、前記フィルタリングキャパシタ(29)の前記導電部(29r)に電気的に接触する、導電トラック、即ち、プレーン(28’)を含む、
ことを特徴とする、
プローブカード。
IPC (2件):
FI (2件):
G01R1/073 E
, G01R1/067 D
Fターム (9件):
2G011AA09
, 2G011AA15
, 2G011AB06
, 2G011AB07
, 2G011AB09
, 2G011AC11
, 2G011AC32
, 2G011AE03
, 2G011AF07
引用特許:
前のページに戻る