特許
J-GLOBAL ID：201803016009198716
基板位置検出装置
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 川口 光男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-148230
公開番号（公開出願番号）：特開2018-018962
特許番号：特許第6276809号
出願日： 2016年07月28日
公開日（公表日）： 2018年02月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板の所定範囲に対し所定の光を照射可能な照射手段と、
前記所定の光が照射された前記基板の所定範囲を撮像可能な撮像手段と、
少なくとも前記撮像手段と前記基板とを相対移動可能な移動手段とを備え、
前記基板に設けられた複数の認識対象のうちの所定の認識対象に対応する位置へ前記撮像手段を相対移動させる移動処理と、該所定の認識対象を所定の撮像条件の下で撮像する撮像処理と、前記撮像処理により得られた画像データを基に該所定の認識対象を認識する認識処理とを、前記複数の認識対象について順次実行することにより、前記基板の位置を検出可能な基板位置検出装置であって、
前記複数の認識対象のうちの所定の認識対象に係る前記撮像処理の終了後、該所定の認識対象とは異なる他の認識対象に対応する位置へ前記撮像手段を相対移動させる前記移動処理を実行しつつ、該所定の認識対象に係る前記認識処理を実行可能とすると共に、
少なくとも前記複数の認識対象すべてについて前記認識処理を実行した後、前記複数の認識対象のうち最後以外の認識対象を認識できなかった場合には、該認識対象に対応する位置に再び移動して再び該認識対象を撮像する再撮像処理と、前記再撮像処理により得られた画像データを基に該認識対象を認識する再認識処理とを実行可能としたことを特徴とする基板位置検出装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (4件)
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