特許
J-GLOBAL ID:201803016074643107

光計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一 ,  荒井 寿王
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-145400
特許番号:特許第6227067号
出願日: 2016年07月25日
要約:
【課題】計測光を精度良く検出可能な光計測装置を提供する。 【解決手段】光計測装置1は、試料に励起光を照射し、計測光を検出する光計測装置である。光計測装置1は、励起光が入射される入射開口22、及び計測光を出射する出射開口23が形成され、試料が配置される積分器20と、出射開口23から出射された計測光を導光する導光部30と、導光部30によって導光された計測光を検出する光検出部40と、を備える。導光部30は、入射端面32aが出射開口23を介して積分器20内を向くように配置された複数の導光部材32を有する。光検出部40は、複数の導光部材32の少なくとも1つによって導光された計測光を検出する。複数の導光部材32の入射端面32a側における受光領域は、積分器20内で互いに重なっている。 【選択図】図2
請求項(抜粋):
【請求項1】 試料に励起光を照射し、計測光を検出する光計測装置であって、 前記励起光が入射される入射開口、及び前記計測光を出射する出射開口が形成され、前記試料が配置される積分器と、 前記出射開口から出射された前記計測光を導光する導光部と、 前記導光部によって導光された前記計測光を検出する光検出部と、を備え、 前記導光部は、入射端面が前記出射開口を介して前記積分器内を向くように配置された複数の導光部材を有し、 前記光検出部は、複数の前記導光部材の少なくとも1つによって導光された前記計測光を検出し、 複数の前記導光部材の前記入射端面側における受光領域は、前記積分器内で互いに重なっている、光計測装置。
IPC (2件):
G01N 21/64 ( 200 6.01) ,  G01J 1/02 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01N 21/64 Z ,  G01J 1/02 F
引用特許:
出願人引用 (3件)

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