特許
J-GLOBAL ID：201803016656982780

飛行時間型質量分析装置

発明者：
小寺 慶

小寺 慶 について

, 
古田 匡智

古田 匡智 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-128299
公開番号（公開出願番号）：特開2018-006050
出願日： 2016年06月29日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：
【課題】プレートホルダを二軸方向に移動させる移動機構に機械誤差に起因するプレート上の位置の相違による高さのばらつきを軽減し、キャリブラントの測定回数を抑える。【解決手段】試料室の平坦な底面板1aの上に直接、金属製のプレートホルダ3を載置する。底面板1aの下方にはx軸方向に延伸するリニアガイド21を配置し、リニアガイド21の可動部21aの上にy軸方向に延伸するリニアガイド22を固定する。リニアガイド22の可動部22aの上に磁石23を固定し、底面板1aを挟んで磁石23の磁力によりプレートホルダ3を引きつける。モータ等によりリニアガイド21、22を介して磁石23を二次元的に移動させると、それに追従してプレートホルダ3も二次元的に移動する。平坦な底面板1aがプレートホルダ3のz軸方向の位置を規制するので、移動に伴うプレート3上の試料の高さの変位を抑えることができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
試料保持部により保持される試料にレーザ光又は粒子線を照射して該試料からイオンを生成し、生成されたイオンを加速して飛行空間中に導入し該飛行空間においてイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置であって、 a)おもて面が平面であるベースプレートと、 b)前記ベースプレートの裏面側に配置され、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内の互いに直交する二軸方向に可動部を移動可能である直交駆動部と、 c)前記可動部と一体である又は該可動部に取り付けられた、前記ベースプレートを挟んでそのおもて面に載置された金属製の前記試料保持部を引き寄せる磁石と、 を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
IPC (4件)：
H01J 49/40 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/16 ,  H01J 49/14
FI (5件)：
H01J49/40 ,  G01N27/62 F ,  G01N27/62 G ,  H01J49/16 ,  H01J49/14
Fターム (12件)：
2G041CA01 ,  2G041DA04 ,  2G041EA13 ,  2G041GA06 ,  2G041GA16 ,  2G041JA06 ,  2G041LA10 ,  5C038GG01 ,  5C038GG02 ,  5C038GG03 ,  5C038GG07 ,  5C038GH10
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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