管状ターゲット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：山口巖 , 山本浩
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-502951
特許番号：特許第6328550号
出願日： 2012年04月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】モリブデン又は少なくとも50原子%のモリブデン含有量を有するモリブデン合金からなり、スパッタ表面と、少なくとも一定の領域で冷媒と接触する内側表面とを、備えた陰極スパッタリング用のバッキングチューブのない管状ターゲットにおいて、前記内側表面の少なくとも一定の領域が、セラミックを充填材として含有する少なくとも1つのポリマーを含有してなる少なくとも1つの保護装置により冷媒から分離されており、前記保護装置が、前記内側表面と面接触している状態にあり、前記保護装置が前記内側表面に湿式塗布され、塗装され、噴霧され又は貼りつけられていることを特徴とする管状ターゲット。

IPC (2件)：