特許
J-GLOBAL ID：201803016872620310
被加工物の保持機構及び加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
松本 昂
, 岡本 知広
, 笠原 崇廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-122917
公開番号（公開出願番号）：特開2017-228617
出願日： 2016年06月21日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：
【課題】被加工物をより適切に保持できる保持機構を提供する。【解決手段】被加工物の保持機構(54)であって、保持面(60a)を有する保持基台(60)と、保持基台の保持面に設置され、強磁性を示す材料を含む被加工物(11)との間に引力を生じさせる磁石(62)と、磁石との間に生じる引力によって保持基台の保持面側に保持された被加工物に対し、保持面から離れる向きの力を加えるリリース手段(64)と、を備え、リリース手段は、保持面を覆うカバーシート(66)と、保持面とカバーシートとの間に流体を供給してカバーシートを膨らませる流体供給部(72)と、を有し、カバーシートを介して磁石との間に生じる引力によって被加工物を保持する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
保持面を有する保持基台と、
該保持基台の該保持面に設置され、強磁性を示す材料を含む被加工物との間に引力を生じさせる磁石と、
該磁石との間に生じる引力によって該保持基台の該保持面側に保持された被加工物に対し、該保持面から離れる向きの力を加えるリリース手段と、を備え、
該リリース手段は、
該保持面を覆うカバーシートと、
該保持面と該カバーシートとの間に流体を供給して該カバーシートを膨らませる流体供給部と、を有し、
該カバーシートを介して該磁石との間に生じる引力によって被加工物を保持することを特徴とする被加工物の保持機構。
IPC (5件)：
H01L 21/677
, B65G 49/06
, B23Q 7/04
, H01L 21/301
, B24B 41/06
H01L21/68 B
, B65G49/06 A
, B23Q7/04 K
, H01L21/78 N
, B24B41/06 A
, B24B41/06 L
3C016GA01
, 3C033BB10
, 3C033HH11
, 3C033HH26
, 3C034AA20
, 3C034BB73
, 3C034BB84
, 3C034DD09
, 3C034DD10
, 5F063AA21
, 5F063DD06
, 5F063DE33
, 5F063FF05
, 5F063FF42
, 5F131AA02
, 5F131AA03
, 5F131AA04
, 5F131AA12
, 5F131AA30
, 5F131CA53
, 5F131DA13
, 5F131DA14
, 5F131DA33
, 5F131DA42
, 5F131DA54
, 5F131DB25
, 5F131DB32
, 5F131EA05
, 5F131EA22
, 5F131EB01
