計測装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：志賀正武 , 鈴木史朗 , 飯田雅人 , 小林淳一
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016066636
公開番号（公開出願番号）：WO2017-002535
出願日： 2016年06月03日
公開日（公表日）： 2017年01月05日
要約：

互いに異なる周波数で分布しているスペクトルを二以上含む離散スペクトル光(LA)を発する点光源(12)と、離散スペクトル光をスペクトル毎に互いに異なる方向に分散させる分散部(14)と、スペクトルを試料(S)の互いに異なる位置(p1,...,pn)にそれぞれ集光させる第一集光部(15)と、試料の互いに異なる位置から透過又は反射したそれぞれのスペクトルを空間的に重ね合わせる重ね合わせ部(19)と、試料の情報を含む離散スペクトル光(LB)を、分散部によって分散されたスペクトルの試料上の集光位置と共役な位置(P3)に集光させて空間フィルタリングする空間フィルタリング光学系(18)と、試料の情報を含む離散スペクトル光から、試料の情報を含むモード分解スペクトルを取得する検出部(20)と、を備えている。

請求項（抜粋）：

互いに異なる周波数で分布しているスペクトルを二以上含む離散スペクトル光を発する点光源と、前記点光源から発せられた前記離散スペクトル光を前記スペクトル毎に互いに異なる方向に分散させる分散部と、前記分散部によって分散された前記スペクトルを試料の互いに異なる位置にそれぞれ集光させる集光部と、前記集光部によって集光された前記スペクトルが、前記試料の互いに異なる位置から透過又は反射したそれぞれのスペクトルを空間的に重ね合わせる重ね合わせ部と、前記重ね合わせ部によって重ね合わされた前記試料の情報を含む離散スペクトル光を、前記分散部によって分散された前記スペクトルの前記試料上の集光位置と共役な位置に集光させて空間フィルタリングする空間フィルタリング光学系と、前記空間フィルタリング光学系で空間フィルタリングされた前記試料の情報を含む離散スペクトル光から、前記試料の情報を含むモード分解スペクトルを取得する検出部と、を備えていることを特徴とする計測装置。

IPC (5件)：

G01N 21/27 , G02B 21/06 , G02B 5/18 , G02B 27/42 , G01B 11/00

FI (5件)：

G01N21/27 A , G02B21/06 , G02B5/18 , G02B27/42 , G01B11/00 A

Fターム (60件)：

2F065AA60 , 2F065BB05 , 2F065BB22 , 2F065BB23 , 2F065CC16 , 2F065FF52 , 2F065GG04 , 2F065GG12 , 2F065GG23 , 2F065HH15 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL02 , 2F065LL30 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2F065LL51 , 2F065NN05 , 2F065QQ16 , 2G059AA05 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE10 , 2G059EE11 , 2G059FF02 , 2G059FF03 , 2G059GG01 , 2G059GG08 , 2G059GG10 , 2G059JJ05 , 2G059JJ06 , 2G059JJ11 , 2G059JJ17 , 2G059JJ22 , 2G059JJ30 , 2G059KK04 , 2H052AA08 , 2H052AB01 , 2H052AB14 , 2H052AB24 , 2H052AC04 , 2H052AC05 , 2H052AC11 , 2H052AC14 , 2H052AC16 , 2H052AC18 , 2H052AC26 , 2H052AC27 , 2H052AC34 , 2H052AD03 , 2H052AF02 , 2H052AF04 , 2H052AF14 , 2H249AA06 , 2H249AA12 , 2H249AA50 , 2H249AA55 , 2H249AA58 , 2H249AA64 , 2H249AA65

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