蒸着装置及び蒸発源

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉井剛 , 吉井雅栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-133684
公開番号（公開出願番号）：特開2018-003121
出願日： 2016年07月05日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：

【課題】蒸発粒子の入射角が大きく、均一な膜厚分布を実現でき、且つ、レート変動影響を受け難い蒸着装置及び蒸発源の提供。【解決手段】成膜材料が収容される容器1と、容器1の長手方向に沿って設けられる複数の蒸発口部2a・2bとを有する蒸発源を備えた蒸着装置であって、複数の蒸発口部2a・2bのうち外側に設けられた一対の外側蒸発口部2aは、夫々容器1の長手方向外側に向くように傾斜する開口端面を有し、少なくとも1つの前記外側蒸発口部2aは、開口端面の中心からの法線が基板3の成膜有効範囲の外側に指向するように構成され、且つ、外側蒸発口部2aの開口端面から放出された成膜材料が最も厚く成膜される最大成膜点Xが基板3の成膜有効範囲の外側に位置するように構成された膜厚分布調整用外側蒸発口部2aに設定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

成膜材料が収容される容器と、前記容器の長手方向に沿って設けられる複数の蒸発口部とを有する蒸発源を備え、この蒸発口部から前記成膜材料を放出することで、基板上に蒸着膜を形成するように構成した蒸着装置であって、前記複数の蒸発口部のうち外側に設けられた少なくとも一対の外側蒸発口部は、夫々前記容器の長手方向外側に向くように傾斜する開口端面を有し、少なくとも1つの前記外側蒸発口部は、前記開口端面の中心からの法線が前記基板の成膜有効範囲の外側に指向するように構成され、且つ、前記外側蒸発口部の開口端面から放出された成膜材料が最も厚く成膜される最大成膜点が前記基板の成膜有効範囲の外側に位置するように構成された膜厚分布調整用外側蒸発口部に設定されていることを特徴とする蒸着装置。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (1件)：

C23C14/24 A

Fターム (3件)：

4K029CA01 , 4K029DB12 , 4K029DB23

引用特許：

審査官引用 (4件)

蒸着装置およびこれを用いた有機発光表示装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-143344 出願人：三星ディスプレイ株式會社
成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-112672 出願人：東京エレクトロン株式会社
単点リニア蒸発源システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-072111 出願人：上海和輝光電有限公司

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