特許
J-GLOBAL ID：201803017144962708
イオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
松沼 泰史
, 飯田 雅人
, 佐藤 彰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-197041
公開番号（公開出願番号）：特開2018-063946
出願日： 2017年10月10日
公開日（公表日）： 2018年04月19日
要約：
【課題】ドロップレットの発生を抑えつつ、原料液を効率よく供給することを可能とし、かつ、供給された原料液からイオンを効率よく引き出すことを可能とする、イオン源を提供する。【解決手段】本発明のイオン源100は、一端に開口101aを有するタンク101と、開口101aを覆うエミッタ電極層102と、エミッタ電極層102上に積層された絶縁層103と、絶縁層103上に積層されたゲート電極層104と、を備え、エミッタ電極層102、絶縁層103、ゲート電極層104が、それぞれ、互いに重なる位置において、タンク101の外側に突出し、先端が尖った中空の凸部102a、103a、104aを有し、凸部102a、103a、104aの先端は、互いに連通する開口部を有していることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電界により、イオン液体、液体金属からイオンを引き出すイオン源であって、
一端に開口を有するタンクと、
前記開口を覆うエミッタ電極層と、
前記エミッタ電極層上に積層された絶縁層と、
前記絶縁層上に積層されたゲート電極層と、を備え、
前記エミッタ電極層、前記絶縁層、前記ゲート電極層が、それぞれ、互いに重なる位置において、前記タンクの外側に突出し、先端が尖った中空の凸部を有し、
それぞれの前記凸部の先端は、互いに連通する開口部を有していることを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
5C030DE01
, 5C030DE04
, 5C030DF05
, 5C030DF06
