特許
J-GLOBAL ID：201803017746124916

露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法

発明者：
柴崎 祐一

柴崎 祐一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-016060
公開番号（公開出願番号）：特開2018-077536
出願日： 2018年02月01日
公開日（公表日）： 2018年05月17日
要約：
【課題】ステージ上に搭載されたヘッドを切り換えて使用することによってステージを安定して駆動制御する。【解決手段】ステージWST1は、4つの領域A1、A2、A3、A4の1つから、領域A0を介して、4つの領域A1、A2、A3、A4のうち前記1つの領域と異なる領域に移動され、領域A0において4つのヘッドによってステージの位置情報が計測されるように、ステージが領域A0内にいる間、前記4つのヘッドのうち前記1つの領域で用いられる3つのヘッドと異なる別のヘッドが、スケール部材の4つの部分のうち前記1つの領域で用いられる3つのヘッドがそれぞれ対向する3つの部分と異なる部分と対向するとともに、前記異なる領域において、前記4つのヘッドのうち、前記1つの領域で用いられる3つのヘッドの1つの代わりに前記別のヘッドを含む3つのヘッドを用いてステージの駆動が制御される。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
投影光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、 前記基板を保持するステージと、 前記投影光学系の光軸と垂直な所定面内で互いに直交する第1、第2方向を含む6自由度方向に関して前記基板が移動されるように前記ステージを移動する駆動系と、 前記ステージに設けられる4つのヘッドであって、それぞれ反射型格子が形成される4つの部分と、前記4つの部分に囲まれる開口とを有するスケール部材に対してその下方からそれぞれ計測ビームを照射する前記4つのヘッドを有し、前記6自由度方向に関する前記ステージの位置情報を計測する計測系と、 前記計測系で計測される位置情報に基づいて前記駆動系を制御する制御系と、を備え、 前記スケール部材は、前記投影光学系が前記開口内に位置するように設けられ、 前記基板の露光動作において前記ステージが移動される移動領域は、前記4つのヘッドのうち第1ヘッドを除く第2、第3、第4ヘッドがそれぞれ、前記4つの部分のうち第1部分を除く第2、第3、第4部分と対向する第1領域と、前記4つのヘッドのうち前記第2ヘッドを除く前記第1、第3、第4ヘッドがそれぞれ、前記4つの部分のうち前記第2部分を除く前記第1、第3、第4部分と対向する第2領域と、前記4つのヘッドのうち前記第3ヘッドを除く前記第1、第2、第4ヘッドがそれぞれ、前記4つの部分のうち前記第3部分を除く前記第1、第2、第4部分と対向する第3領域と、前記4つのヘッドのうち前記第4ヘッドを除く前記第1、第2、第3ヘッドがそれぞれ、前記4つの部分のうち前記第4部分を除く前記第1、第2、第3部分と対向する第4領域と、前記第1、第2、第3、第4ヘッドがそれぞれ前記第1、第2、第3、第4部分と対向する第5領域と、を含み、 前記第1領域では、前記第2、第3、第4ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、前記第2領域では、前記第1、第3、第4ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、前記第3領域では、前記第1、第2、第4ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、前記第4領域では、前記第1、第2、第3ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、前記第5領域では、前記第1、第2、第3、第4ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、 前記制御系は、前記露光動作において、前記ステージが前記第1、第2、第3、第4領域の1つから、前記第5領域を介して、前記第1、第2、第3、第4領域のうち前記1つの領域と異なる領域に移動されるように前記駆動系を制御し、 前記第5領域において前記4つのヘッドによって前記ステージの位置情報が計測されるように、前記ステージが前記第5領域内にいる間、前記4つのヘッドのうち前記1つの領域で用いられる3つのヘッドと異なる別のヘッドが、前記4つの部分のうち前記1つの領域で用いられる3つのヘッドがそれぞれ対向する3つの部分と異なる部分と対向するとともに、前記異なる領域において、前記4つのヘッドのうち、前記1つの領域で用いられる3つのヘッドの1つの代わりに前記別のヘッドを含む3つのヘッドを用いて前記ステージの駆動が制御される露光装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
G03F7/20 501 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 F
Fターム (47件)：
2H197AA09 ,  2H197CA06 ,  2H197CA07 ,  2H197CA08 ,  2H197CC05 ,  2H197CD12 ,  2H197CD13 ,  2H197CD15 ,  2H197CD17 ,  2H197CD18 ,  2H197CD35 ,  2H197CD41 ,  2H197CD43 ,  2H197DC06 ,  2H197DC13 ,  2H197DC14 ,  2H197DC18 ,  2H197EA13 ,  2H197EB23 ,  2H197HA03 ,  2H197HA04 ,  2H197HA05 ,  2H197HA10 ,  5F131AA02 ,  5F131BA13 ,  5F131CA18 ,  5F131DA09 ,  5F131EA02 ,  5F131EA14 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131EA25 ,  5F131EA27 ,  5F131EB01 ,  5F131EB11 ,  5F131FA17 ,  5F131FA37 ,  5F131KA03 ,  5F131KA16 ,  5F131KA40 ,  5F131KA44 ,  5F131KA47 ,  5F131KA54 ,  5F131KB07 ,  5F131KB12 ,  5F131KB53
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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