特許
J-GLOBAL ID:201803018400534448
半導体型カーボンナノチューブの分離方法および半導体素子の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
藤谷 修
, 一色 昭則
, 角谷 智広
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-066945
公開番号(公開出願番号):特開2018-168018
出願日: 2017年03月30日
公開日(公表日): 2018年11月01日
要約:
【課題】金属型と半導体型が混在したカーボンナノチューブから半導体型のものを分離する方法において、分離能を向上させること。【解決手段】第1物質、第2物質、ドデシル硫酸ナトリウム(SDS)、およびコール酸ナトリウム(SC)を溶媒に混合して、混合溶液を作製する。次に、混合溶液に、金属型と半導体型が混在したカーボンナノチューブを加えて混合、攪拌し、分散液を作製する。次に、分散液を静置し、第1のポリマーを主として含む第1層と、第2のポリマーを主として含む第2層の2層に分離する。分散液が2層に分離するのに伴って、所定の長さ、所定のカイラリティの半導体型カーボンナノチューブは第1層へと移動し、他の半導体型カーボンナノチューブや金属型カーボンナノチューブは第2層へと移動する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
2相分離する第1物質および第2物質と、ドデシル硫酸ナトリウムと、コール酸ナトリウムと、を溶媒に混合して混合溶液を作製し、
その後、前記混合溶液に、金属型と半導体型が混在したカーボンナノチューブを加えて混合して分散液を作製し、
前記分散液を、前記第1物質を主として含む第1層と、前記第2物質を主として含む第2層の2層に分離し、それに伴って、半導体型カーボンナノチューブを前記第1層に移動させ、金属型カーボンナノチューブを前記第2層に移動させることにより、半導体型カーボンナノチューブを分離する、
を有することを特徴とする半導体型カーボンナノチューブの分離方法。
IPC (8件):
C01B 32/172
, B82Y 30/00
, B82Y 40/00
, H01B 13/00
, H01B 1/04
, H01B 5/00
, H01L 29/06
, H01L 29/786
FI (8件):
C01B32/172
, B82Y30/00
, B82Y40/00
, H01B13/00 501Z
, H01B1/04
, H01B5/00 H
, H01L29/06 601N
, H01L29/78 618B
Fターム (30件):
4G146AA12
, 4G146AB06
, 4G146AC16B
, 4G146AD21
, 4G146AD30
, 4G146BC17
, 4G146CB10
, 4G146CB11
, 4G146CB13
, 4G146CB17
, 4G146CB26
, 4G146CB29
, 4G146CB35
, 4G146DA03
, 4G146DA08
, 5F110AA16
, 5F110CC07
, 5F110DD05
, 5F110DD13
, 5F110EE02
, 5F110EE08
, 5F110EE14
, 5F110FF02
, 5F110FF23
, 5F110GG01
, 5F110GG05
, 5F110GG42
, 5F110HK02
, 5G301BA02
, 5G307AA08
引用特許: