特許

J-GLOBAL ID：201803018405552614

測定治具

発明者： 三橋 巨悟
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 青木 宏義 ,  天田 昌行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-160595
公開番号（公開出願番号）：特開2018-027597
出願日： 2016年08月18日
公開日（公表日）： 2018年02月22日
要約：

【課題】保持面からホイールマウントにおける装着面までの高さを板状ワークの研削加工時と同じ状態にして保持面と装着面との距離を測定すること。【解決手段】測定治具(5)は、保持テーブル(21)が板状ワーク(W)を保持する保持面(23)と、保持面に保持された板状ワークを研削する研削砥石(48)を環状に配設した研削ホイール(46)がボルトによって装着されるホイールマウント(44)の装着面(44b)と、の間隔を測定し、ホイールマウントに形成されたボルト挿入孔(44a)に対応した雌ネジ(51g)を形成する被装着面(51a)を有する基台(51)と、被装着面の反対面側に配設され測定子(52a)を有するゲージ(52)と、を備え、測定子の位置は、ホイールマウントに装着した研削ホイールに配設される研削砥石の位置に対応していて、研削砥石の軌跡に沿って測定する構成とした。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

保持テーブルが板状ワークを保持する保持面と、該保持面に保持された板状ワークを研削する研削砥石を環状に配設した研削ホイールがボルトによって装着されるホイールマウントの装着面と、の間隔を測定する測定治具であって、 該ホイールマウントに形成されたボルト挿入孔に対応した雌ネジを形成する被装着面を有する基台と、該被装着面の反対面側に配設され測定子を有するゲージと、を備え、 該測定子の位置は、該ホイールマウントに装着した該研削ホイールに配設される該研削砥石の位置に対応していて、該研削砥石の軌跡に沿って測定する測定治具。

IPC (4件)：

B24B 49/10 ,  B24B 41/06 ,  B24B 7/04 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B24B49/10 ,  B24B41/06 L ,  B24B7/04 A ,  H01L21/304 631

Fターム (22件)：

3C034AA08 ,  3C034BB73 ,  3C034BB92 ,  3C034CA13 ,  3C034CB08 ,  3C034DD15 ,  3C043BA01 ,  3C043BA03 ,  3C043BA15 ,  3C043CC04 ,  3C043DD05 ,  5F057AA19 ,  5F057BA11 ,  5F057BB03 ,  5F057BB07 ,  5F057BB09 ,  5F057BB12 ,  5F057CA14 ,  5F057DA11 ,  5F057GA15 ,  5F057GB01 ,  5F057GB12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 研削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-005077   出願人：株式会社ディスコ
• 研削加工方法及び研削盤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-357419   出願人：株式会社日平トヤマ
• 研削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-085360   出願人：株式会社ディスコ