特許

J-GLOBAL ID：201803018441381400

熱遷移流ポンプシステム

発明者： 釘本 恒
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-216195
公開番号（公開出願番号）：特開2015-078645
特許番号：特許第6303386号
出願日： 2013年10月17日
公開日（公表日）： 2015年04月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 所定の孔径を有する細孔膜が吸入口側と排出口側との間に配置される熱遷移流ポンプを複数台縦続接続して構成される熱遷移流ポンプシステムであって、 [1-{(吸入口気体圧)/(排出口気体圧)}]を熱遷移流ポンプの減圧比として、排出口気体圧に対する減圧比の変化を示す減圧比特性について、第1の孔径の細孔膜を有する第1の熱遷移流ポンプと、第1の孔径よりも大きな孔径の細孔膜を有する第2の熱遷移流ポンプとを比較すると、第1の熱遷移流ポンプは排出口の気体圧が高圧側から低圧側の広い範囲に渡って良好な減圧比特性を有し、第2の熱遷移流ポンプは気体圧が高圧側では減圧比特性があまり良くないが低圧側で減圧比特性が良好であることに基づき、縦続接続の高圧側に配置される熱遷移流ポンプの細孔膜の孔径よりも低圧側に配置される熱遷移流ポンプの細孔膜の孔径が大きく設定され、 第1の熱遷移流ポンプの減圧比特性と第2の熱遷移流ポンプの減圧比特性が所定の排出口気体圧で交差し、所定の排出口気体圧よりも高圧側では第1の熱遷移流ポンプの減圧比特性が優れ、所定の排出口気体圧よりも低圧側では第2の熱遷移流ポンプの減圧比特性が優れていることに基づき、所定の排出口気体圧よりも高圧側では第1の熱遷移流ポンプが複数台縦続接続され、所定の排出口気体圧よりも低圧側では第2の熱遷移流ポンプが複数台縦続接続された熱遷移流ポンプシステム。

IPC (2件)：

F04B 37/06 ( 200 6.01) ,  F04D 33/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

F04B 37/06 ,  F04D 33/00

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭59-130519
  
• 真空装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-115888   出願人：大見忠弘, 東京エレクトロン株式会社

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-130519
  
• 真空装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-115888   出願人：大見忠弘, 東京エレクトロン株式会社
• 特開昭59-130519