半導体デバイス計測装置及び半導体デバイス計測方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 石田悟 , 柴山健一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-247143
公開番号（公開出願番号）：特開2015-105851
特許番号：特許第6283507号
出願日： 2013年11月29日
公開日（公表日）： 2015年06月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】半導体デバイスに入力する動作パルス信号を発生させる動作パルス信号発生部と、光を発生させる光発生部と、前記光を前記半導体デバイスに照射する光照射部と、前記光に対して前記半導体デバイスが反射した反射光を検出し、検出信号を出力する光検出部と、前記検出信号を増幅し、増幅信号を出力する増幅部と、前記増幅信号及び所定の補正値に基づいて前記半導体デバイスの動作を解析する解析部と、を備え、前記所定の補正値は、前記動作パルス信号の基本周波数の高調波に相当する信号が前記増幅部によって増幅された信号に基づいて求められたものである、半導体デバイス計測装置。

IPC (1件)：