走査型プローブ顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新居広守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-234584
公開番号（公開出願番号）：特開2018-091695
出願日： 2016年12月01日
公開日（公表日）： 2018年06月14日
要約：

【課題】観測画像に歪みが生じるのを抑制することができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】観測試料20を載置する試料ステージ22と、観測試料20の表面状態または動態を観測する探針10と、試料ステージ22を駆動するスキャナ24と、スキャナ24の動作を制御するコンピュータ35とを備え、コンピュータ35は、所定の周期で振幅の増加および減少を繰り返す走査電圧をスキャナ24に印加し、走査電圧は、振幅の増加開始直後の第1の期間における振幅の増加の加速度が正の値である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

観測試料を載置する試料ステージと、前記観測試料の表面状態または動態を観測する探針と、前記試料ステージを駆動するスキャナと、前記スキャナの動作を制御する制御部とを備え、前記制御部は、所定の周期で振幅の増加および減少を繰り返す走査電圧を前記スキャナに印加し、前記走査電圧は、振幅の増加開始直後の第1の期間における振幅の増加の加速度が正の値である走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01Q 10/06 , G01Q 10/04 , G01Q 60/24

FI (3件)：

G01Q10/06 , G01Q10/04 101 , G01Q60/24

引用特許：

審査官引用 (1件)

スキャナシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-272292 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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