特許
J-GLOBAL ID:201803018926725663

光検出装置、光検出方法および光検出プログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-138759
公開番号(公開出願番号):特開2018-009871
出願日: 2016年07月13日
公開日(公表日): 2018年01月18日
要約:
【課題】簡易な構成で、微弱光を高速、高感度に検出可能な光検出装置、光検出方法および光検出プログラムを提供すること。【解決手段】第1パルス光を発生する第1レーザ光源と、第2パルス光を発生する第2レーザ光源と、第2パルス光を複数の位相で変調するとともに第1パルス光に対し遅延させ複数の位相変調パルス光として出力する位相変調部と、第1パルス光と複数の位相変調パルス光とを合波し合波パルス光として出力する合波部と、合波パルス光が対象物に照射されて発生した散乱光を分光し受光する受光部と、受光部で受光された散乱光の周波数スペクトルから特定の物質に起因するスペクトルを検出する検出部であって、複数の位相変調パルスに同期する複数のスペクトルから第1パルス光と第2パルス光の位相差を基準位相として取得するとともに該基準位相を用いて特定の物質に起因するスペクトルを検出する検出部と、を含む。【選択図】図2
請求項(抜粋):
第1の帯域を有する第1のパルス光を発生する第1のレーザ光源と、 前記第1の帯域より狭い第2の帯域を有する第2のパルス光を発生する第2のレーザ光源と、 前記第2のパルス光を複数の位相で変調するとともに前記第1のパルス光に対し0を含む予め定められた時間だけ遅延させ複数の位相変調パルス光として出力する位相変調部と、 前記第1のパルス光と前記複数の位相変調パルス光とを合波し合波パルス光として出力する合波部と、 前記合波パルス光が対象物に照射されて発生した散乱光を分光し受光する受光部と、 前記受光部で受光された前記散乱光の周波数スペクトルから特定の物質に起因する周波数スペクトルを検出する検出部であって、前記複数の位相変調パルスに同期する複数の周波数スペクトルから前記第1のパルス光と前記第2のパルス光の位相差を基準位相として取得するとともに前記基準位相を用いて前記特定の物質に起因する周波数スペクトルを検出する検出部と、 を含む光検出装置。
IPC (2件):
G01J 9/00 ,  G01N 21/65
FI (2件):
G01J9/00 ,  G01N21/65
Fターム (25件):
2G043AA01 ,  2G043AA03 ,  2G043BA14 ,  2G043CA03 ,  2G043EA04 ,  2G043FA01 ,  2G043FA02 ,  2G043FA06 ,  2G043GA06 ,  2G043GB21 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA03 ,  2G043HA06 ,  2G043HA09 ,  2G043HA15 ,  2G043JA04 ,  2G043KA05 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA02 ,  2G043MA01 ,  2G043MA04 ,  2G043NA05 ,  2G043NA06
引用特許:
審査官引用 (7件)
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引用文献:
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