特許
J-GLOBAL ID：201803018966166543
水晶振動式膜厚モニタ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉井 剛
, 吉井 雅栄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-272160
公開番号（公開出願番号）：特開2015-125131
特許番号：特許第6284362号
出願日： 2013年12月27日
公開日（公表日）： 2015年07月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数の水晶振動子が円周方向に沿って配設された水晶振動子ホルダと、遮蔽部と開口部とが円周方向に沿って設けられた回転遮蔽体と、前記水晶振動子ホルダに設けられた第1の回転軸と、前記回転遮蔽体に設けられた第2の回転軸と、モータとを有し、
前記複数の水晶振動子のうちの一つが測定位置に配置された際に、蒸着物が付着することで膜厚が測定され、
前記水晶振動子ホルダが回転することにより、前記測定位置にある水晶振動子に代えて他の水晶振動子を測定位置に位置させ、
前記回転遮蔽体は、前記測定位置の前方に設置され、回転することにより前記測定位置にある水晶振動子に蒸着物が付着する量を制御し、
前記水晶振動子ホルダを回転させる場合は、前記モータの回転駆動力を前記水晶振動子ホルダと前記回転遮蔽体とに伝達し、前記水晶振動子ホルダを回転させない場合は、前記モータの回転駆動力を前記回転遮蔽体のみに伝達する回転駆動伝達機構を、前記第1の回転軸と前記第2の回転軸との間に備えたことを特徴とする水晶振動式膜厚モニタ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
