特許
J-GLOBAL ID：201203058809519880
水晶発振式膜厚モニタ装置、及び、これを用いたEL材料の蒸発源装置と薄膜形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-029730
公開番号（公開出願番号）：特開2012-169168
出願日： 2011年02月15日
公開日（公表日）： 2012年09月06日
要約：
【課題】 リニアソースに好適な水晶発振式膜厚モニタ装置と共に、膜厚モニタを用いたEL材料の蒸発源装置や薄膜形成装置を提供する。【解決手段】 外周端に沿って複数の水晶振動子50を保持する円盤状の水晶振動子ホルダ10と、その表面を覆い、かつ、その一個に対応した位置にだけ開口部21を設けたカバー20を備えたヘッダと、ヘッダの裏面に設けられた回転機構と、ホルダの回転に伴って開口部から表面を外部に露出する一の水晶振動子の共振周波数を検出する共振周波数検出手段を備えた水晶発振式膜厚モニタ装置では、ヘッダを構成する円盤状のホルダの外周部を円錐状に、内側に角度θだけ窪ませて水晶振動子表面から延長した垂線を円盤状のホルダの回転軸に対して角θだけ傾斜させ、ホルダを回転する駆動部550を含む回転機構を、水晶振動子ホルダの回転軸に対して垂直に伸びた方向に設ける。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
複数の水晶振動子と、前記複数の水晶振動子をその外周端に沿って保持する円盤状の水晶振動子ホルダと、前記水晶振動子ホルダの表面を覆い、かつ、当該ホルダに保持された複数の水晶振動子の一つに対応した位置に開口部を設けたカバー部とを備えたヘッダ部と、
前記ヘッダ部の水晶振動子ホルダの裏面側に設けられ、前記水晶振動子を当該ホルダを一体に回転する回転機構と、
前記回転機構による前記水晶振動子ホルダの回転に伴って前記開口部からその表面の一部を外部に露出した一の水晶振動子の共振周波数を検出するための共振周波数検出手段とを備えた水晶発振式膜厚モニタ装置において、
前記ヘッダ部を構成する円盤状の水晶振動子ホルダの外周部を円錐状に窪ませ、もって、当該ホルダに保持された水晶振動子の表面から延長した垂線が、当該円盤状のホルダの回転軸に対して所定の角度だけ傾斜するようにすると共に、前記ホルダを回転する回転機構を、前記水晶振動子ホルダの回転軸に対して垂直に伸びた方向に設けたことを特徴とする水晶発振式膜厚モニタ装置。
IPC (3件)：
H05B 33/10
, C23C 14/24
, H01L 51/50
H05B33/10
, C23C14/24 U
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC33
, 3K107CC42
, 3K107CC45
, 3K107GG04
, 3K107GG28
, 3K107GG32
, 3K107GG34
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029CA01
, 4K029DA03
, 4K029DB06
, 4K029DB12
, 4K029DB18
, 4K029DB23
, 4K029EA01
