特許
J-GLOBAL ID：201803019196767701

パターン露光装置

発明者：
堀 正和

堀 正和 について

, 
奈良 圭

奈良 圭 について

, 
横田 宗泰

横田 宗泰 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (3件)： 西澤 和純 ,  大浪 一徳 ,  小林 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-046750
公開番号（公開出願番号）：特開2018-109786
出願日： 2018年03月14日
公開日（公表日）： 2018年07月12日
要約：
【課題】高精度の処理が可能なパターン露光装置を提供する。【解決手段】シート基板の長尺方向に距離Lだけ離れた2ヶ所の位置の各々に配置されて、シート基板を長尺方向に案内する一対の案内部材と、シート基板の2ヶ所の位置の間に、短尺方向の寸法が所定の度合いで非線形に収縮変化する非線形領域と、シート基板の距離Lの部分に長尺方向の張力を付与する張力付与機構と、シート基板上のパネル領域に対応したシート基板の裏面部分を平面に支持する為の平面ホルダと、シート基板上のパネル領域に対して露光処理を行う加工ヘッドと、を備え、シート基板上のパネル領域の長尺方向の幅をXpd、余白の長尺方向の幅をNp、一対の案内部材の各々の位置から安定領域の間に形成される非線形領域の長尺方向の距離をAs、Aeとしたとき、前記距離Lを、Np>As、Aeであって、且つ、Xpd 請求項（抜粋）：
可撓性を有する長尺のシート基板を長尺方向に搬送し、前記シート基板の被処理面にディスプレイ用パネルのパターンを、前記長尺方向に所定の余白を伴って配列されるように露光するパターン露光装置であって、 前記シート基板の長尺方向に距離Lだけ離れた2ヶ所の位置の各々に配置されて、前記長尺方向と直交する短尺方向の寸法に渡って前記シート基板の前記被処理面の裏側の面と接触して、前記シート基板を長尺方向に案内する一対の案内部材と、 前記シート基板の前記2ヶ所の位置の間に、前記短尺方向の寸法が所定の度合いで非線形に収縮変化する非線形領域と、該収縮がほぼ一定となって前記長尺方向に所定の長さで続く安定領域とが形成されるように、前記シート基板の前記距離Lの部分に前記長尺方向の張力を付与する張力付与機構と、 前記ディスプレイ用パネルのパターンが露光される前記シート基板上のパネル領域に対応した前記シート基板の裏面部分であって、且つ前記安定領域となる部分を平面に支持する為の平面ホルダと、 前記平面ホルダに対して1次元又は2次元に移動して、前記シート基板上の前記パネル領域に対して露光処理を行う加工ヘッドと、を備え、 前記シート基板上の前記パネル領域の前記長尺方向の幅をXpd、前記余白の前記長尺方向の幅をNp、前記一対の案内部材の各々の位置から前記安定領域の間に形成される前記非線形領域の前記長尺方向の距離をAs、Aeとしたとき、 前記距離Lを、Np>As、Aeであって、且つ、Xpd IPC (1件)：
G03F 9/00
FI (1件)：
G03F9/00 A
Fターム (32件)：
2H197AA04 ,  2H197AA09 ,  2H197AA22 ,  2H197AA29 ,  2H197AA48 ,  2H197BA09 ,  2H197BA11 ,  2H197CA07 ,  2H197CB25 ,  2H197CC05 ,  2H197CC11 ,  2H197CC16 ,  2H197CD12 ,  2H197CD13 ,  2H197CD15 ,  2H197CD17 ,  2H197CD18 ,  2H197CD25 ,  2H197CD29 ,  2H197CD30 ,  2H197CD35 ,  2H197CD44 ,  2H197CD47 ,  2H197DA02 ,  2H197DB37 ,  2H197EA19 ,  2H197EA25 ,  2H197EB17 ,  2H197EB18 ,  2H197EB23 ,  2H197HA04 ,  2H197HA05
引用特許：
審査官引用 (16件)
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