特許
J-GLOBAL ID：201803019326839599

研磨パッドの製造方法

発明者：
キム、スン グン

キム、スン グン について

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カン、ハック ス

カン、ハック ス について

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チュ、ジョン ソン

チュ、ジョン ソン について

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ジョン、デ ハン

ジョン、デ ハン について

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パク、ギ ヨン

パク、ギ ヨン について

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イ、ハ ウ

イ、ハ ウ について

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ホン、ギ シク

ホン、ギ シク について

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アン、ボン ス

アン、ボン ス について


出願人/特許権者：
ケーピーエックス ケミカル カンパニー リミテッド

ケーピーエックス ケミカル カンパニー リミテッド について


代理人 (3件)： 泉 通博 ,  久恒 京範 ,  寺川 賢祐
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-529389
公開番号（公開出願番号）：特表2018-521860
出願日： 2016年04月06日
公開日（公表日）： 2018年08月09日
要約：
【課題】研磨パッドの性能の信頼性を高める。【解決手段】本発明に係る研磨パッド製造方法は、複数のポリマーを混合して粘度20,000cps(25°C)〜40,000cps(25°C)のウレタン予備重合体を生成する工程と、ウレタン予備重合体に不活性ガスと沸点が60°C〜150°Cである低沸点発泡剤を混合する工程と、生成された混合物を所定の鋳型でゲル化及び硬化させて多孔性ポアを含む研磨層を製造する工程を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
(a)複数のポリマーを混合して粘度20,000cps(25°C)〜40,000cps(25°C)のウレタン予備重合体を生成する工程と、 (b)前記工程(a)で生成したウレタン予備重合体に不活性ガスと沸点が60°C〜150°Cである低沸点発泡剤を混合する工程と、 (c)前記工程(b)で生成された混合物を所定の鋳型でゲル化及び硬化させて多孔性ポアを含む研磨層を製造する工程と、 を備える、 研磨パッドの製造方法。
IPC (3件)：
B24B 37/24 ,  H01L 21/304 ,  C08J 9/12
FI (3件)：
B24B37/24 C ,  H01L21/304 622F ,  C08J9/12
Fターム (36件)：
3C158AA07 ,  3C158AA09 ,  3C158CA05 ,  3C158CA06 ,  3C158CA07 ,  3C158CB01 ,  3C158CB03 ,  3C158DA12 ,  3C158DA17 ,  3C158EA11 ,  3C158EB01 ,  3C158EB10 ,  3C158EB22 ,  3C158EB28 ,  3C158EB29 ,  4F074AA84 ,  4F074AB05 ,  4F074BA33 ,  4F074BA86 ,  4F074BA95 ,  4F074BB08 ,  4F074CA25 ,  4F074CC06Z ,  4F074DA03 ,  4F074DA56 ,  5F057AA03 ,  5F057AA24 ,  5F057AA25 ,  5F057BA15 ,  5F057BB03 ,  5F057CA11 ,  5F057EB03 ,  5F057EB06 ,  5F057EB07 ,  5F057EB13 ,  5F057EB30
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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