特許
J-GLOBAL ID：200903021651883000

固定研磨材料の製造方法

発明者：
バリジェパリ,スドハカール

バリジェパリ,スドハカール について

, 
アルドリッチ,デール ジェイ.

アルドリッチ,デール ジェイ. について

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グライアー,ロ-ラ エー.

グライアー,ロ-ラ エー. について


出願人/特許権者：
ダウ グローバル テクノロジーズ インコーポレイティド

ダウ グローバル テクノロジーズ インコーポレイティド について


代理人 (4件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  西山 雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-503709
公開番号（公開出願番号）：特表2006-519115
出願日： 2004年02月19日
公開日（公表日）： 2006年08月24日
要約：
研磨粒子(30)も含有する水性ポリマー分散液から、CMP平坦化パッド中に使用するのに適している固定研磨材料(19)の製造方法であって、ポリマー分散液を起泡する工程、泡を基板、金型又は担体に適用する工程並びに泡を硬化させて、約5〜85重量%の研磨粒子を含有する連続気泡構造及び約350kg/m3〜1200kg/m3の乾燥密度を有する固定研磨材料(19)を形成する工程を含んでなる方法が提供される。
請求項（抜粋）：
少なくとも1種のポリマー及びポリマー形成性混合物、研磨粒子並びに界面活性剤を含む水性分散液を形成する工程; 前記水性分散液中に起泡剤を注入する工程; 前記水性分散液及び起泡剤を機械的に起泡させて、実質的に均一な泡を形成する工程; 前記泡を硬化させて、相互連結された気泡及び研磨粒子が全体的に実質的に均一に分布しているポリマーマトリックスを有する連続気泡発泡体を形成する工程を含んでなる固定研磨材料の形成方法。
IPC (9件)：
B24D 11/00 ,  H01L 21/304 ,  B24D 3/00 ,  B24D 3/32 ,  C09K 3/14 ,  B01F 17/26 ,  B01F 17/00 ,  B01F 17/10 ,  B24B 37/00
FI (12件)：
B24D11/00 E ,  H01L21/304 622F ,  B24D3/00 320A ,  B24D3/32 ,  B24D11/00 Q ,  C09K3/14 550D ,  C09K3/14 550L ,  C09K3/14 550Z ,  B01F17/26 ,  B01F17/00 ,  B01F17/10 ,  B24B37/00 C
Fターム (29件)：
3C058AA04 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  3C063AA06 ,  3C063AB07 ,  3C063BA02 ,  3C063BB03 ,  3C063BB07 ,  3C063BC03 ,  3C063BC09 ,  3C063BE06 ,  3C063BE12 ,  3C063EE10 ,  4D077AA01 ,  4D077AB20 ,  4D077AC07 ,  4D077BA07 ,  4D077DC02X ,  4D077DC03X ,  4D077DC04X ,  4D077DC26X ,  4D077DC32X ,  4D077DC48X ,  4D077DC59X
引用特許：
出願人引用 (17件)
  • Rutherford等の米国特許第5,692,950号明細書
  • Walker等の米国特許第6,425,815B1号明細書
  • James等の米国特許第6,069,080号明細書
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審査官引用 (5件)
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