特許
J-GLOBAL ID：201803019353235336

半導体構造、集積回路構造、及びそれらの製造方法

発明者：
ウェブ、ミルトン クレア

ウェブ、ミルトン クレア について

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ボーア、マーク

ボーア、マーク について

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ガーニ、タヒア

ガーニ、タヒア について

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リャオ、ズヤ エス.

リャオ、ズヤ エス. について


出願人/特許権者：
インテル・コーポレーション

インテル・コーポレーション について


代理人 (1件)： 龍華国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-077178
公開番号（公開出願番号）：特開2018-129533
出願日： 2018年04月12日
公開日（公表日）： 2018年08月16日
要約：
【課題】自己整合ゲートエッジ及びローカルインターコネクト構造、並びに、自己整合ゲートエッジ及びローカルインターコネクト構造を製造する方法を提供する。【解決手段】半導体構造又はデバイス800は、基板802の上方に配置され、かつ、第1の方向に長さを有する半導体フィン804、サブフィン805を含む。ゲート構造808は、半導体フィンの上に配置され、第1の方向と直交する第2の方向に、第2の端部と向かい合う第1の端部を有する。自己整合ゲートエッジ分離構造の対820は、半導体フィンを中央とする。ゲートエッジ分離構造の対のうち第1のゲートエッジ分離構造は、ゲート構造の第1の端部に直接隣接して配置され、ゲートエッジ分離構造の対のうち第2のゲートエッジ分離構造は、ゲート構造の第2の端部に直接隣接して配置される。【選択図】図8A
請求項（抜粋）：
基板の上方に配置され、第1の方向に長さを有する第1の半導体フィンと、 前記第1の半導体フィンの上に配置された第1のゲート構造であって、前記第1の方向と直交する第2の方向に、第2の端部と向かい合う第1の端部を有する前記第1のゲート構造と、 前記第1の半導体フィンを中央とするゲートエッジ分離構造の対と、 前記第1のゲート構造の両側で、前記第1の半導体フィンの中に配置されたソース領域及びドレイン領域と、 前記ソース領域の上に配置された第1のトレンチコンタクト及び前記ドレイン領域の上に配置された第2のトレンチコンタクトと を備え、 前記ゲートエッジ分離構造の対のうち第1のゲートエッジ分離構造は、前記第1のゲート構造の前記第1の端部に直接隣接して配置され、前記ゲートエッジ分離構造の対のうち第2のゲートエッジ分離構造は、前記第1のゲート構造の前記第2の端部に直接隣接して配置され、 前記第1のトレンチコンタクト及び前記第2のトレンチコンタクトのそれぞれは、前記第2の方向に、第2の端部と向かい合う第1の端部を有し、 前記ゲートエッジ分離構造の対のうち前記第1のゲートエッジ分離構造は、前記第1のトレンチコンタクトの前記第1の端部、及び前記第2のトレンチコンタクトの前記第1の端部に直接隣接して配置され、前記ゲートエッジ分離構造の対のうち前記第2のゲートエッジ分離構造は、前記第1のトレンチコンタクトの前記第2の端部、及び前記第2のトレンチコンタクトの前記第2の端部に直接隣接して配置される 半導体構造。
IPC (4件)：
H01L 21/336 ,  H01L 29/78 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/092
FI (6件)：
H01L29/78 301X ,  H01L29/78 301C ,  H01L29/78 301Y ,  H01L29/78 301G ,  H01L27/092 D ,  H01L27/092 F
Fターム (53件)：
5F048AA01 ,  5F048AB04 ,  5F048AC03 ,  5F048BB08 ,  5F048BB09 ,  5F048BB11 ,  5F048BB12 ,  5F048BD06 ,  5F048BF06 ,  5F048BF07 ,  5F048BF15 ,  5F048BG03 ,  5F048BG13 ,  5F140AA39 ,  5F140AB03 ,  5F140AC01 ,  5F140BA01 ,  5F140BA03 ,  5F140BA05 ,  5F140BA06 ,  5F140BA07 ,  5F140BA08 ,  5F140BA09 ,  5F140BB05 ,  5F140BD01 ,  5F140BD04 ,  5F140BD09 ,  5F140BD11 ,  5F140BD12 ,  5F140BD13 ,  5F140BF05 ,  5F140BF06 ,  5F140BF07 ,  5F140BF08 ,  5F140BF10 ,  5F140BF11 ,  5F140BF15 ,  5F140BF17 ,  5F140BF18 ,  5F140BF60 ,  5F140BG11 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG36 ,  5F140BJ05 ,  5F140BJ07 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK27 ,  5F140CB04 ,  5F140CC03 ,  5F140CC08 ,  5F140CC09 ,  5F140CE07
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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