特許
J-GLOBAL ID：201803019398234748

露光装置、露光方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体

発明者：
佐藤 真路

佐藤 真路 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (3件)： 西澤 和純 ,  大浪 一徳 ,  小林 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-040330
公開番号（公開出願番号）：特開2018-092195
出願日： 2018年03月07日
公開日（公表日）： 2018年06月14日
要約：
【課題】露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供する。【解決手段】露光装置は、光学部材(13)と基板(P)との間の液体(LQ)を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、装置フレーム(8B)と、光学部材を含む光学系と、光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材(21)と、光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第2部材(22)と、を含み、液浸空間を形成可能な液浸部材(5)と、第2部材を第1部材に対して移動可能な駆動装置(56)と、それを介して第1部材が装置フレームに支持される、防振装置(55)と、を備える。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
光学部材と基板との間の液体を介して露光光で前記基板を露光する露光装置であって、 装置フレームと、 前記光学部材を含む光学系と、 前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第2部材と、を含み、液浸空間を形成可能な液浸部材と、 前記第2部材を前記第1部材に対して移動可能な駆動装置と、 それを介して前記第1部材が前記装置フレームに支持される、防振装置と、 を備える露光装置。
IPC (1件)：
G03F 7/20
FI (2件)：
G03F7/20 521 ,  G03F7/20 502
Fターム (35件)：
2H197AA04 ,  2H197AA06 ,  2H197AA07 ,  2H197AA08 ,  2H197AA09 ,  2H197AA10 ,  2H197AA12 ,  2H197AA28 ,  2H197AA43 ,  2H197AB02 ,  2H197BA11 ,  2H197BA17 ,  2H197CA03 ,  2H197CA05 ,  2H197CA06 ,  2H197CA08 ,  2H197CA14 ,  2H197CC01 ,  2H197CD12 ,  2H197CD13 ,  2H197CD41 ,  2H197CD42 ,  2H197CD43 ,  2H197CD48 ,  2H197DB27 ,  2H197DC05 ,  2H197EA05 ,  2H197EA06 ,  2H197FB03 ,  2H197HA03 ,  2H197HA04 ,  2H197HA06 ,  2H197HA08 ,  2H197HA10 ,  2H197JA09
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (10件)
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