特許
J-GLOBAL ID：201803019937900897
光学非破壊検査方法及び光学非破壊検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人岡田国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-110026
公開番号（公開出願番号）：特開2014-228478
特許番号：特許第6241069号
出願日： 2013年05月24日
公開日（公表日）： 2014年12月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 測定対象物を破壊することなく加熱する出力に設定された加熱レーザ波長の加熱用レーザを出射する加熱用レーザ光源と、
赤外線を検出可能な少なくとも1つの赤外線検出手段と、
前記加熱用レーザ光源を制御するとともに前記赤外線検出手段からの検出信号を取り込む制御手段と、を用い、
前記制御手段から前記加熱用レーザ光源を制御して、測定対象物上に設定した測定スポットに向けて加熱用レーザを照射する、加熱用レーザ照射ステップと、
前記制御手段にて前記測定スポットから放射される光の中から取り出した所定赤外線波長の赤外線を前記赤外線検出手段を用いて検出する、放射赤外線検出ステップと、
前記制御手段にて、前記放射赤外線検出ステップにて検出した検出値と、前記加熱用レーザ照射ステップによる加熱用レーザの照射時間である加熱時間と、に基づいて、加熱時間に応じた前記測定スポットの温度上昇状態である温度上昇特性を測定する、温度上昇特性測定ステップと、
前記制御手段にて、前記温度上昇特性に基づいて、測定対象物の状態を判定する、判定ステップと、を有する光学非破壊検査方法において、
前記測定スポットが設定された部材は、酸化膜を形成することが可能な金属または合金であり、
前記加熱用レーザ照射ステップを実行する前に、前記制御手段から前記加熱用レーザ光源を制御して、前記加熱用レーザよりも高い出力の酸化膜形成用レーザを前記測定スポットに一時的に照射して、測定対象物を破壊することなく前記測定スポットを含む前記測定スポットの周囲に酸化膜を形成する酸化膜形成ステップを有し、形成された前記酸化膜上に新たな測定スポットを設定して前記加熱用レーザ照射ステップと、前記放射赤外線検出ステップと、前記温度上昇特性測定ステップと、前記判定ステップと、を実行して、前記測定対象物の状態を判定する、
光学非破壊検査方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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