特許

J-GLOBAL ID：201803020531904636

波長可変干渉フィルターの駆動方法

発明者： 廣久保 望
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 渡辺 和昭 ,  西田 圭介 ,  仲井 智至
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-028543
公開番号（公開出願番号）：特開2018-128681
出願日： 2018年02月21日
公開日（公表日）： 2018年08月16日
要約：

【課題】簡素な構成で、反射膜間ギャップの広いギャップ範囲に対して、精度よくギャップ量の微調整を実施することができる光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法を提供する。【解決手段】光学モジュール10は、互いに対向する反射膜54,55、及び第一静電アクチュエーター561及び第二静電アクチュエーター562を有し、反射膜間ギャップを変更する静電アクチュエーター部56を備えた波長可変干渉フィルター5と、静電アクチュエーター部56に印加する電圧を制御する電圧制御部15と、を具備し、電圧制御部15は、第一静電アクチュエーター561にバイアス電圧を印加するバイアス駆動部151と、ギャップ検出器152と、検出されたギャップ量に応じたフィードバック電圧を第二静電アクチュエーター562に印加するフィードバック制御部153と、を備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

反射膜間ギャップを介して対向する2つの反射膜、及び電圧印加により前記反射膜間ギャップのギャップ量を変更する静電アクチュエーター部を備えた波長可変干渉フィルターと、前記静電アクチュエーター部に印加する電圧を制御する電圧制御部と、を具備した光学モジュールであって、 前記静電アクチュエーター部は、互いに独立して駆動可能な第一静電アクチュエーター、及び第二静電アクチュエーターを備え、 前記電圧制御部は、 前記第一静電アクチュエーターに対して、予め設定されたバイアス電圧を印加するバイアス電圧印加手段と、 前記反射膜間ギャップのギャップ量を検出するギャップ検出手段と、 前記第二静電アクチュエーターに対して、前記ギャップ検出手段により検出されたギャップ量に応じたフィードバック電圧を印加するフィードバック電圧印加手段と、 を備えたことを特徴とする光学モジュール。

IPC (4件)：

G02B 26/00 ,  G01J 3/26 ,  B81B 3/00 ,  B81B 7/02

FI (4件)：

G02B26/00 ,  G01J3/26 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02

Fターム (32件)：

2G020BA02 ,  2G020BA05 ,  2G020CC23 ,  2G020CC56 ,  2G020CC63 ,  2G020CD04 ,  2G020CD16 ,  2G020CD24 ,  2G020CD60 ,  2H141MA21 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MD02 ,  2H141MD04 ,  2H141MD38 ,  2H141ME09 ,  2H141ME24 ,  2H141MF05 ,  2H141MG10 ,  2H141MZ03 ,  2H141MZ13 ,  2H141MZ22 ,  2H141MZ28 ,  3C081AA01 ,  3C081BA04 ,  3C081BA05 ,  3C081BA32 ,  3C081BA33 ,  3C081BA45 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081EA07

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 赤外分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-203110   出願人：横河電機株式会社
• ファブリペローフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-241859   出願人：横河電機株式会社