圧電アクチュエータおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：福地武雄 , 白川洋一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-202581
公開番号（公開出願番号）：特開2015-070093
特許番号：特許第6266936号
出願日： 2013年09月27日
公開日（公表日）： 2015年04月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】高温環境下で駆動する圧電アクチュエータであって、複数の圧電素子が直列に積み重ねられた圧電アクチュエータ本体と、前記圧電アクチュエータ本体を収容する金属製のケースと、前記圧電アクチュエータ本体を一方の端部で固定する固定部と、前記圧電アクチュエータ本体の他方の端部に設けられ、前記圧電アクチュエータ本体の変位を伝達する変位伝達部と、前記圧電アクチュエータ本体に圧縮力を与える弾性部と、を備え、前記固定部、変位伝達部および弾性部の前記ケース内部に露出する表面が、陽極酸化膜で覆われることで、前記ケース内に露出する金属部材の表面が陽極酸化膜で覆われていることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (6件)：

H01L 41/053 ( 200 6.01) , H01L 41/047 ( 200 6.01) , H01L 41/083 ( 200 6.01) , H01L 41/273 ( 201 3.01) , H01L 41/43 ( 201 3.01) , H01L 41/09 ( 200 6.01)

FI (6件)：

H01L 41/053 , H01L 41/047 , H01L 41/083 , H01L 41/273 , H01L 41/43 , H01L 41/09

引用特許：

審査官引用 (8件)

圧電部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-026170 出願人：株式会社村田製作所
積層型圧電アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-055300 出願人：NECトーキン株式会社
圧電素子および圧電アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-016551 出願人：太平洋セメント株式会社, 株式会社日本セラテック

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