特許
J-GLOBAL ID：201803021023642258
処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-183714
公開番号（公開出願番号）：特開2018-048364
出願日： 2016年09月21日
公開日（公表日）： 2018年03月29日
要約：
【課題】搬送ズレが生じた場合でもワーク側の導電体と電源部側の導電体との間に導通不良の発生を抑制し異常放電の発生を抑制する処理装置の提供。【解決手段】処理室と、ワーク側導電体50と、保持部と、ワーク側導電体の搬送方向の端部51を露出させた状態でワーク側導電体を覆うワーク側絶縁体60とを有する搬送部80と、電源部側導電体30と、電源部側導電体30を覆い、電源部側導電体とワーク側導電体の端部51とが対向する箇所に開口部41を有する電源部側絶縁体40と、を備える処理装置100。開口部は、ワーク側導電体側に向けて広がる傾斜部41bと、傾斜部41bよりも電源部側導電体側に位置し搬送方向に沿った内壁部41aとを有し、ワーク側絶縁体の搬送方向の端部62は、ワーク側導電体が電源部側導電体に開口部を通じて接触したときに、開口部の内壁部の内側に位置する処理装置。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
プラズマを用いて導電性のワークに成膜又はエッチングを行う処理装置であって、
前記成膜又は前記エッチングが行われる処理室と、
前記処理室内に前記ワークを搬送する搬送部であって、前記搬送の方向である搬送方向を向くワーク側導電体と、前記ワーク側導電体と電気的に接続され、前記ワークを保持する導電性の保持部と、前記ワーク側導電体の前記搬送方向の端部を露出させた状態で前記ワーク側導電体を覆うワーク側絶縁体とを有する搬送部と、
前記処理室内に少なくとも一部が設けられ電力が印加される電源部側導電体と、
前記処理室内において前記電源部側導電体を覆い、前記処理室内の前記電源部側導電体と前記ワーク側導電体の端部とが対向する箇所に開口部を有する電源部側絶縁体と、を備え、
前記開口部は、前記ワーク側導電体側に位置し前記ワーク側導電体側に向けて広がる傾斜部と、前記傾斜部よりも前記電源部側導電体側に位置し前記搬送方向に沿った内壁部と、を有し、
前記搬送部が前記搬送方向に移動して前記ワーク側導電体が前記電源部側導電体に前記開口部を通じて接触することで、前記電源部側導電体に印加される電力が前記ワーク側導電体及び前記保持部を介して前記ワークに印加され、
前記ワーク側絶縁体の前記搬送方向の端部は、前記ワーク側導電体が前記電源部側導電体に前記開口部を通じて接触したときに、前記開口部の前記内壁部の内側に位置する、
処理装置。
IPC (3件)：
C23C 16/44
, C23C 16/54
, H05H 1/46
C23C16/44 F
, C23C16/54
, C23C16/44 J
, H05H1/46 A
2G084AA02
, 2G084AA05
, 2G084BB07
, 2G084BB21
, 2G084CC33
, 2G084DD65
, 2G084FF01
, 2G084FF03
, 2G084FF07
, 2G084FF22
, 2G084FF39
, 2G084FF40
, 4K030AA09
, 4K030AA16
, 4K030AA18
, 4K030BA27
, 4K030CA02
, 4K030FA01
, 4K030GA02
, 4K030GA04
, 4K030GA12
, 4K030KA18
, 4K030KA45
出願人引用 (2件)
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プラズマCVD装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2013-235795
出願人：トヨタ自動車株式会社
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プラズマ発生装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2009-097044
出願人：株式会社デンソー
審査官引用 (2件)
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プラズマCVD装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2013-235795
出願人：トヨタ自動車株式会社
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プラズマ発生装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2009-097044
出願人：株式会社デンソー
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