特許
J-GLOBAL ID：201803021315850765

搬送装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法

発明者：
松平 泰尚

松平 泰尚 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  大塚 康弘 ,  高柳 司郎 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-111202
公開番号（公開出願番号）：特開2018-142742
出願日： 2018年06月11日
公開日（公表日）： 2018年09月13日
要約：
【課題】基板の破損を回避するために有利な技術を提供する。【解決手段】基板をステージに搬送する搬送装置は、前記基板を保持する保持部と、前記基板の高さを検出する検出部と、前記保持部に前記基板を搬送する第1搬送部と、前記保持部から前記ステージに前記基板を搬送する第2搬送部と、前記第1搬送部に前記基板を搬送させている状態で前記基板の高さを前記検出部に検出させ求められた検出結果に基づいて決定した経路で前記第2搬送部に前記基板を前記ステージに搬送させる制御部と、を有する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板をステージに搬送する搬送装置であって、 前記基板を保持する保持部と、 前記基板の高さを検出する検出部と、 前記保持部に前記基板を搬送する第1搬送部と、 前記保持部から前記ステージに前記基板を搬送する第2搬送部と、 前記第1搬送部に前記基板を搬送させている状態で前記基板の高さを前記検出部に検出させ求められた検出結果に基づいて決定した経路で前記第2搬送部に前記基板を前記ステージに搬送させる制御部と、 を有することを特徴とする搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (4件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/30 502D ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 541L
Fターム (61件)：
2H197CD25 ,  2H197CD29 ,  2H197CD33 ,  2H197CD44 ,  2H197DC05 ,  2H197DC14 ,  2H197HA03 ,  5F056EA13 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA10 ,  5F131BA13 ,  5F131CA07 ,  5F131CA09 ,  5F131CA55 ,  5F131DA02 ,  5F131DA20 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB05 ,  5F131DB52 ,  5F131DB57 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131DD03 ,  5F131DD29 ,  5F131DD33 ,  5F131DD43 ,  5F131DD54 ,  5F131DD57 ,  5F131DD73 ,  5F131DD74 ,  5F131EA02 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EB01 ,  5F131EB63 ,  5F131EB72 ,  5F131FA32 ,  5F131FA34 ,  5F131FA35 ,  5F131GA03 ,  5F131KA13 ,  5F131KA15 ,  5F131KA16 ,  5F131KA34 ,  5F131KA72 ,  5F131KB03 ,  5F131KB04 ,  5F131KB05 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32 ,  5F131KB42 ,  5F131KB45 ,  5F131KB48 ,  5F131KB58 ,  5F146AA31
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 検査方法および検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-334266   出願人：富士通株式会社, 株式会社日立ハイテクノロジーズ
  • 検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-043179   出願人：東京エレクトロン山梨株式会社
  • 基板搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-191048   出願人：キヤノン株式会社

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