文献
J-GLOBAL ID：201902002784014659   整理番号：19S2751352

Development of coaxial ECR plasma source for tube inner coating

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著者 (3件)：
Shigemizu, Tetsuro

Shigemizu, Tetsuro について

(Faculty of Engineering, Nagasaki University)

Faculty of Engineering, Nagasaki University について

, 
Ohno, Noriyasu

Ohno, Noriyasu について

(Faculty of Engineering, Nagasaki University)

Faculty of Engineering, Nagasaki University について

, 
Fujiyama, Hiroshi

Fujiyama, Hiroshi について

(Faculty of Engineering, Nagasaki University)

Faculty of Engineering, Nagasaki University について


資料名：
Materials Science and Engineering A

Materials Science and Engineering A について


巻： 139  号： C  ページ： 312-318  発行年： 1991年 
JST資料番号： SCOPUS  ISSN： 0921-5093 
言語： 英語 (EN)

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