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J-GLOBAL ID:201902115183190920   整理番号:19S2342790

Sputter coating on high speed steel tube using a hybrid plasma produced by coaxial ECR and magnetron discharges

著者 (4件):
資料名:
巻: 59  号: 1-3  ページ: 140-143  発行年: 1993年 
JST資料番号: SCOPUS  ISSN: 0257-8972 
言語: 英語 (EN)

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