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J-GLOBAL ID：201902210365961632   整理番号：19A2397069

高強度レーザパルスによる非線形効果を用いた角度計測法に関する研究

著者 (4件)： 松隈啓 (東北大 大学院工学研究科) ,  間所周平 (東北大 大学院工学研究科) ,  清水裕樹 (東北大 大学院工学研究科) ,  高偉 (東北大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2019  号： 春季(Web)  ページ： 478-479(J-STAGE)  発行年： 2019年09月04日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超短パルスレーザは,ピコ秒を下回るパルス幅を持ち,高いピーク強度を持つ.高いピーク強度を持つことで,従来のレーザ光源と比較して,非線形光学効果がより顕著に現れる.非線形光学効果の一つに第2高調波発生がある.第2高調波の光強度は入力光の光軸と結晶角度に強い依存性を持つことが知られている.そこで我々は,第2高調波光強度を角度検出原理とした新たな角度計測手法を提案し,理論計算と実験を行った.(著者抄録)

シソーラス用語： *レーザパルス ,  強度 ,  *角度測定 ,  フェムト秒レーザ ,  センサ ,  高調波 ,  *非線形光学 ,  放射強度 ,  光学系 ,  結晶 ,  集光レンズ
準シソーラス用語： 角度センサ ,  光学結晶 ,  光強度 ,  光軸 ,  高強度 ,  第二高調波

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (6件)：

• W.Gao, “Precision Nanometrology: Snesors and Measuring Systems for Nanomanufacturing”, Springer (2010).
• A. E. Ennos, and M. S. Virdee, “High accuracy profile measurement of quasi-conical mirror surfaces by laser autocollimation”, Precis. Eng., 4(1), 5-8 (1982).
• P. S. Huang, et. al., “Angle measurement based on the internal-reflection effect: a new method”, Appl. Opt., 31(28), 6047-6055 (1992).
• W. Gao, S. W. Kim, H. Bosse, H. Haitjema, Y. L. Chen, X. D. Lu, W. Knapp, A. Weckenmann, W. T. Estler, H. Kunzmann, “Measurement technologies for precision positioning”, CIRP Annals, 64(2), 773-796 (2015)
• R. W. Boyd, “Nonlinear Optics Third Edition”, Academic Press (2008).

タイトルに関連する用語 (5件)： 高強度レーザ ,  パルス ,  非線形効果 ,  角度計測 ,  研究